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產品簡介
甩膠機 被設計為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物，使用工業級直流馬達和單片機控制，文本顯示器人機界面。
詳細介紹
甩膠機勻膠機
產品性能參數：
- 支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）
- 速度可調范圍：100-10000rpm
- 加速度可調范圍：100-10000rpm/s
- 轉速分辨率：1rpm
- 轉速精度：＜±5rpm
- 可編程5組5步程序
- 寬電壓輸入：AC100-230V
產品特性優點：
- 75W 直流無刷電機，單片機控制
- 高清晰文本顯示器
- 可單步和多步勻膠操作
- PP耐腐蝕內腔，可更換
- 鋁合金陽極氧化外殼，美觀大方
- 耐溶劑PC透明蓋
- 多角度定位鉸鏈設計
- HDPE真空吸盤
產品外型尺寸：
250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)