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高精度位移測量儀-激光干涉儀

昊量光電推出的PICOSCALE位移測量儀產品是基于激光干涉方法設計的非接觸式位移和振動測量設備。因為不需要物理接觸，所以測量不會影響物體。這尤其適用于較小的物體，它們的動力學很容易受到傳統測量探頭的影響。微位移測量儀廣泛應用于定位技術中，可以在pm分辨率下位移跟蹤定位。我們提供可用于一般用途或優化特定的任務的各種傳感頭，如角度或差分測量。此外，我們提供用于真空、低溫或其他惡劣環境的傳感器頭。由于它們的緊湊性，它們幾乎適用于所有的設置。

除了測量位移，位移測量激光干涉儀還可用于描述運動過程中的動態性能。由于位置數據是在非常高的帶寬下測量的，因此可以實時準確地識別振動，并進行詳細的振動模態分析。

基本原理：

所有的PICOSCALE高精度位移測量儀都基于邁克爾遜干涉儀，這是一種測量位移和振動的精確方法。邁克爾遜干涉儀由一個波長穩定激光器、一個分束器、一個目標和一個參考鏡組成。在分束器上，來自激光的光被分成兩支。一只手臂指向目標表面，另一只手臂指向參考鏡。當兩臂的光分別被目標表面和參考鏡反射后，再回到分束器。這里，兩條手臂重新組合，發生了干涉。干涉信號包含目標表面相對于參考鏡的位移信息。

高精度位移測量儀-激光干涉儀