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光腔衰蕩光譜方法(CRDS, Cavity Ring-Down Spectroscopy)是一種基于高精細度諧振腔的高靈敏度探測技術,主要用于精確測量各種反射率大于99%的超高反射率反射鏡的反射率,測量精度可達百萬分之一量級!
光腔衰蕩光譜方法通過對指數型的腔內衰蕩信號的檢測,擺脫了激光能量輸出的起伏所引起的誤差。由兩片99.99% 反射率組成的光腔對損耗的測量精度可達ppm量級。
應用領域:
高反射鍍膜層損耗的精密測量
正入射反射率R>>99%的平面或凹面光學元件的損耗測量
精度dR/R<2ppm @ R>99.5%
檢測用激光波長可選(如≥355nm…532nm…633nm…1064nm…≤1319nm)
測量原理:
脈沖光或快速開關的連續光耦合進諧振腔
待測膜層在每次往返光程中經反射產生損耗
時間相關的輸出信號的精確測量得到衰蕩數據
脈沖光往返時間已知,根據衰蕩的時間特點,得到反射率
技術指標:
測量反射率: R>>99%
精度: dR/R < 2ppm @ R>99.5%
樣品/基底要求*: ø1”Or 0.5”, 厚度~6mm
基底透明,后表面平面拋光
*0o正入射測量,其他要求可訂制。
供電電源:
激光器 100~240VAC, 50~60Hz
探測器 +/-9 VDC
接口: USB 2.0
含數據采集, A-D轉換,數據處理等模塊。軟件包括反射率分析、生產數據錄入及處理等。