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目錄:上海西努光學科技有限公司>>工業(yè)顯微鏡>>測量顯微鏡>> AL120晶圓搬送機半導體顯微鏡

AL120晶圓搬送機半導體顯微鏡
  • AL120晶圓搬送機半導體顯微鏡
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 品牌 OLYMPUS/奧林巴斯
  • 型號
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 國外
屬性

>

更新時間:2024-11-22 07:43:47瀏覽次數(shù):1591評價

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AL120晶圓搬送機半導體顯微鏡我們推出了200 mm型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對應小于150 mm的晶圓)的3種型號,對應薄片制造廠家的需求,AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓

AL120晶圓搬送機半導體顯微鏡詳細介紹

適應范圍廣、搭配靈活 對應多種尺寸組合

我們推出了200 mm型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對應小于150 mm的晶圓)的3種型號。除此以外,您還可以根據(jù)檢查模式,選用微觀檢查型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"LMB型"。

晶圓尺寸•厚度對應表 薄片檢查

對應薄片制造廠家的需求,AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓。
高度實用性
進一步優(yōu)化的宏觀檢查


背面宏觀360゜旋轉
•宏觀檢查手臂可以360゜旋轉,更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。
• 利用360゜旋轉功能,*可以目視檢查整個晶圓(包括邊緣)。此外,在表面宏觀檢查中,使用操縱桿可隨意將晶圓zui大傾斜30゜進行觀察。

操作便捷

• 為了滿足各種常規(guī)檢查的要求,AL120可以登記多達10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度。快速菜單選擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。
AL120晶圓搬送機半導體顯微鏡的菜單設置和設置參數(shù)都會在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應SLOT,便于操作者再次確認。
•AL120使用非接觸光學定位、查找和對齊缺口/平面,可以減少晶圓和設備之間的接觸,提高晶圓的清潔度。
高度可靠性 優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安全

•為了能夠安全的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設計。
•在安全性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測,同時,在環(huán)境保護方面遵守了RoHS指令。
堅固、耐用的顯微鏡底座

AL120搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列,通過各種觀測方法,包括:明視場、暗視場、微分干涉(DIC)、近IR(近紅外線)和DUV(深紫外線),實現(xiàn)了的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定,可以優(yōu)化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制,AL120還可以應用到其他型號的顯微鏡上。
人機工程學設計的載物臺

•手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率,標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉功能。
•可通過操縱桿或預編程的程序控制電動載物臺,進一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置。

 規(guī)格
 200 mm型200 mm/150 mm 兼用型150 mm型
AL120- 
LMB8- 
90
AL120- 
LMB86- 
180
AL120- 
L86- 
180
AL120- 
LMB86
AL120- 
L86
AL120- 
LMB6- 
150
AL120- 
L6- 
150
晶圓尺寸(SEMI規(guī)格)200mm200mm / 150mm150mm / 
125mm / 
100mm
晶圓zui小厚度90µm180µm400µm150µm
片盒類型*SEMI規(guī)格:25(26)個slot
片盒數(shù)1
檢查模式全部檢查/抽樣檢查
搬運順序微觀檢查(顯微鏡檢查)
表面宏觀檢查   
背面宏觀檢查   
二次背面宏觀檢查   
晶圓定位(每 90º)非接觸(定位平邊/V型槽)非接觸(定位平邊)
適配顯微鏡型號奧林巴斯半導體檢查顯微鏡 MX61
尺寸(mm)主機部分:640 (W) × 620 (D) × 378 (H),配備顯微鏡時:1100 (W) × 620 (D) × 378 (H)主機部分:570 (W) × 620 (D) × 400 (H),配備顯微鏡時:980 (W) × 620 (D) × 400 (H)
重量(kg)(僅主機部分)44444144414037
使用環(huán)境(電源/真空)AC100 V~120 V、1 A或AC220 V~240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67~-80 kPa、20 Liter/min以上

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