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AL120晶圓搬送機半導體顯微鏡詳細介紹:
適應范圍廣、搭配靈活 對應多種尺寸組合
我們推出了200 mm型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對應小于150 mm的晶圓)的3種型號。除此以外,您還可以根據(jù)檢查模式,選用微觀檢查型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"LMB型"。
晶圓尺寸•厚度對應表 薄片檢查
對應薄片制造廠家的需求,AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓。
高度實用性
進一步優(yōu)化的宏觀檢查
背面宏觀360゜旋轉 | •宏觀檢查手臂可以360゜旋轉,更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。 • 利用360゜旋轉功能,*可以目視檢查整個晶圓(包括邊緣)。此外,在表面宏觀檢查中,使用操縱桿可隨意將晶圓zui大傾斜30゜進行觀察。 |
操作便捷
• 為了滿足各種常規(guī)檢查的要求,AL120可以登記多達10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度。快速菜單選擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。
• AL120晶圓搬送機半導體顯微鏡的菜單設置和設置參數(shù)都會在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應SLOT,便于操作者再次確認。
•AL120使用非接觸光學定位、查找和對齊缺口/平面,可以減少晶圓和設備之間的接觸,提高晶圓的清潔度。
高度可靠性 優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安全
•為了能夠安全的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設計。
•在安全性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測,同時,在環(huán)境保護方面遵守了RoHS指令。
堅固、耐用的顯微鏡底座
AL120搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列,通過各種觀測方法,包括:明視場、暗視場、微分干涉(DIC)、近IR(近紅外線)和DUV(深紫外線),實現(xiàn)了的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定,可以優(yōu)化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制,AL120還可以應用到其他型號的顯微鏡上。
人機工程學設計的載物臺
•手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率,標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉功能。
•可通過操縱桿或預編程的程序控制電動載物臺,進一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置。
規(guī)格 | ||||||||
200 mm型 | 200 mm/150 mm 兼用型 | 150 mm型 | ||||||
AL120- LMB8- 90 | AL120- LMB86- 180 | AL120- L86- 180 | AL120- LMB86 | AL120- L86 | AL120- LMB6- 150 | AL120- L6- 150 | ||
晶圓尺寸(SEMI規(guī)格) | 200mm | 200mm / 150mm | 150mm / 125mm / 100mm | |||||
晶圓zui小厚度 | 90µm | 180µm | 400µm | 150µm | ||||
片盒類型* | SEMI規(guī)格:25(26)個slot | |||||||
片盒數(shù) | 1 | |||||||
檢查模式 | 全部檢查/抽樣檢查 | |||||||
搬運順序 | 微觀檢查(顯微鏡檢查) | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
表面宏觀檢查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
背面宏觀檢查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
二次背面宏觀檢查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
晶圓定位(每 90º) | 非接觸(定位平邊/V型槽) | 非接觸(定位平邊) | ||||||
適配顯微鏡型號 | 奧林巴斯半導體檢查顯微鏡 MX61 | |||||||
尺寸(mm) | 主機部分:640 (W) × 620 (D) × 378 (H),配備顯微鏡時:1100 (W) × 620 (D) × 378 (H) | 主機部分:570 (W) × 620 (D) × 400 (H),配備顯微鏡時:980 (W) × 620 (D) × 400 (H) | ||||||
重量(kg)(僅主機部分) | 44 | 44 | 41 | 44 | 41 | 40 | 37 | |
使用環(huán)境(電源/真空) | AC100 V~120 V、1 A或AC220 V~240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67~-80 kPa、20 Liter/min以上 |