日本新宇宙XP-703D泵吸式半導體特氣檢漏儀 產品介紹:
適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。
采用聲光報警
日本新宇宙XP-703D泵吸式半導體特氣檢漏儀 產品參數:
型 號 | XP-703D | 檢測對象氣體 | 半導體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等) | 檢測原理 | 型半導體式 | 采樣方式 | 自動吸引式 | 可檢測濃度 (單位:ppm) | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 | 檢測表示 | 蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍 | 應答速度 | 10秒以內 |
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型 號 | XP-703D | 檢測對象氣體 | 半導體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等) | 檢測原理 | 型半導體式 | 采樣方式 | 自動吸引式 | 可檢測濃度 (單位:ppm) | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 | 檢測表示 | 蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍 | 應答速度 | 10秒以內 |
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