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深圳市秋山貿(mào)易有限公司

主營產(chǎn)品： 抹茶生產(chǎn)線,粉碎研磨珠,口紅硬度計(jì)

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公司信息

聯(lián)系人：
林經(jīng)理
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13823147203
地址：
深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
郵編：
個(gè)性化：
www.cnakiyama.com
網(wǎng)址：
商鋪：
http://www.weixunsd.com/st352988/
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日本thermocera高溫階段“基板加熱”1800℃
日本thermocera高溫階段“基板加熱”1800℃
參考價(jià) ￥ 10000
訂貨量 1000臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 深圳市

更新時(shí)間：2024-09-19 15:14:15瀏覽次數(shù)：997

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!

【簡單介紹】
類型 其他 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,文體,能源,電子,冶金
日本thermocera高溫階段“基板加熱"1800℃
加熱，板上/下板，板旋轉(zhuǎn)，RF / DC板偏置
可以根據(jù)設(shè)備配置自由定制，Depo-Up和Down，定制板支架，板旋轉(zhuǎn)/上/下/上/下，傾斜加熱和反向?yàn)R射等各種功能都包含在該單元中。
各種加熱絲：NiCr，石墨，CCC，Inconel，鎢，鉬，SiC / PBN / PG涂層，鹵素?zé)艉推渌?0種類型

日本thermocera高溫階段“基板加熱”1800℃

 

加熱，板上/下板，板旋轉(zhuǎn)，RF / DC板偏置

可以根據(jù)設(shè)備配置自由定制，Depo-Up和Down，定制板支架，板旋轉(zhuǎn)/上/下/上/下，傾斜加熱和反向?yàn)R射等各種功能都包含在該單元中。
各種加熱絲：NiCr，石墨，CCC，Inconel，鎢，鉬，SiC / PBN / PG涂層，鹵素?zé)艉推渌?0種類型

總覽

基板加熱階段需要加熱階段，例如垂直提升機(jī)構(gòu)（基板支架和加熱頭中的一個(gè)或兩個(gè)），基板旋轉(zhuǎn)，RF / DC基板偏壓（反向飛濺RF / DC清潔）和加熱部分傾斜。它是具有多種功能的“多合一”組件。我們可以滿足對(duì)半導(dǎo)體制造設(shè)備和各種真空設(shè)備（氣相沉積設(shè)備，濺射，CVD設(shè)備）的所有要求。

 
   
       
 

 

基板加熱加熱器，晶片加熱，加熱臺(tái)，晶片退火2寸熱舞臺(tái)_800C

 

   

 

基板加熱加熱器，晶片加熱，加熱臺(tái)，晶片退火晶圓托盤_提起

 

 
       
   
 

應(yīng)用/用例

?半導(dǎo)體制造，薄膜的實(shí)驗(yàn)設(shè)備，RF / DC反濺射，PECVD，RIE等
?用熱臺(tái)（800℃說明書→修飾以醉高1600℃）更換現(xiàn)有設(shè)備的加熱機(jī)構(gòu)
?新工藝評(píng)價(jià)機(jī)器，樣機(jī)，等

 
   
 

加熱部位規(guī)格

?NiCr加熱器
?Inconel加熱器
?鎢加熱器
?鉬加熱器
?鹵素?zé)艏訜崞?br />?石墨加熱器
?C / C復(fù)合加熱器
?各種涂層加熱器（PG，PBN，SiC涂層，玻璃碳）

*工作溫度和數(shù)據(jù)均為“陶瓷頂”?請(qǐng)參閱“加熱器”。

 
   
   
 

各部分名稱


熱舞臺(tái)結(jié)構(gòu)

 日本thermocera高溫階段“基板加熱”1800℃



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