詳細介紹
ARZUFFI發電機 BDS-MF系列
Arzuffi BDS-MF是一款等離子發生器,其正弦輸出電壓為40 kHz,最大功率輸出為5 kW或10 kW,專為PECVD等離子或等離子體激發而設計。原裝ARZUFFI發電機 BDS-MF系列
該發生器能夠提供高達10kW(5KW)至5000V的RMS輸出。輸出為兩個對稱電極的平衡型。
典型的應用是大型工藝室的PECVD工藝。
一個特點是內部輸出的高壓變壓器,帶有兩個插座,以適應等離子體阻抗。
該發生器設計用于現有機器上的即插即用安裝。
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原裝ARZUFFI發電機 BDS-MF系列