封閉式干涉式激光尺利用微型激光干涉儀，以工業(yè)應(yīng)用中最重要的線型標(biāo)定為核心，將光學(xué)相干光路等集成在單個(gè)光電芯片上，一步實(shí)現(xiàn)激光干涉儀的線型測(cè)長(zhǎng)和標(biāo)定功能，從而簡(jiǎn)化了干涉儀系統(tǒng)測(cè)試時(shí)的復(fù)雜程度。

封閉式干涉式激光尺

微型激光干涉儀，以工業(yè)應(yīng)用中最重要的線型標(biāo)定為核心，將光學(xué)相干光路等集成在單個(gè)光電芯片上，一步實(shí)現(xiàn)激光干涉儀的線型測(cè)長(zhǎng)和標(biāo)定功能，從而簡(jiǎn)化了干涉儀系統(tǒng)測(cè)試時(shí)的復(fù)雜程度。

 

 

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

小型化激光傳感模組及基于Patented的無(wú)源移動(dòng)頭等設(shè)計(jì)，使本產(chǎn)品結(jié)構(gòu)更為簡(jiǎn)單，支持高速移動(dòng)，且安裝時(shí)無(wú)需精密對(duì)中，進(jìn)一步提升了設(shè)備的應(yīng)用靈活性和效率。

 

封閉式干涉式激光尺是將多種光學(xué)元件和技術(shù)集成在單一光學(xué)芯片上，這些光學(xué)元件數(shù)量達(dá)到數(shù)十至數(shù)百個(gè)光學(xué)元件。這些技術(shù)包括激光器、調(diào)制器、光電探測(cè)器和濾波器等。通過(guò)將這些芯片與激光二極管、探測(cè)器陣列和光學(xué)透鏡結(jié)合，成功構(gòu)建了一個(gè)小型化的激光傳感模組。此外，我們推出的無(wú)源移動(dòng)頭，與傳統(tǒng)光柵尺的有源頭相比，其結(jié)構(gòu)更為簡(jiǎn)單，支持高速移動(dòng)，且安裝時(shí)無(wú)需精密對(duì)中，進(jìn)一步提升了設(shè)備的應(yīng)用靈活性和效率。通過(guò)這種集成化的激光干涉儀技術(shù)，在先進(jìn)制造領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了廣泛應(yīng)用，尤其在高精度測(cè)量和校準(zhǔn)高級(jí)數(shù)控機(jī)床以及直線電機(jī)平臺(tái)的線性位移方面，展現(xiàn)出其性能。