詳細介紹
Nanosystem NV-2700 非接觸式3D輪廓儀通過的技術力對多樣研究所有的表面提供優化解決方案。所有的功能實現全自動快速運轉。
NV-2700可以快測量所有表面的測量儀,利用持有的白光干涉儀WSI和相應算法開發的產品。X,Y,Z軸全部設計為全自動,通過可調節F.O.V鏡頭,自動構成多樣的倍率。此產品專為研究所,大學和工藝管理而制作的產品。此設備可以通過拼接(Stitching)功能可以進行大面積(500?)測量。
得到的WSI/PSI技術,只需要表面有1%的反射率即可測量,表面現象中的高度,寬度,幅度,粗糙度(Ra, Rq, Rz, Rt, etc)等各種項目均可測量。
此外,WSI的高度分辨率為0.1nm,2秒鐘時間即可掃描所有的表面,在不破壞樣品的情況下,可測定0.1nm到1000um的樣品,均可觀察2D/3D的現象。不僅如此,更是保障了0.1%(1σ)世界水準的重復性,本公司保有的技術可應用于 PCB, display, engineering part, chemical material, optical parts, bio, R&D等方面。
Nanosystem NV-2700 非接觸式3D輪廓儀?優點
· 優良的測量精度
· 抗振動設計
· 快速測量速度
· 友好的測量界面
· Stitching功能
· 2D和3D多功能性能
主要功能
· 3D 形貌測量
· 粗糙度 (ISO 25178) 和平整度 (選項)
· 高度,深度,寬度(從亞納米到10mm)·
· 面積信息(體積,面積)
· 2D和3D 測量
產品規格:
測量方法:白光掃描干涉法/相移干涉法
FOV鏡頭:4位電動轉塔,可加裝F.O.V(選項)
干涉物鏡:5物鏡可選(程控)
光源:白光LED照明
掃描范圍:≤270um(PZT)
掃描速度:12μm/sec (1x~5x用戶可選)
垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm ,PSI :﹤0.1nm
橫向分辨率:0.2-4μm(取決于物鏡和FOV)
臺階高度重復性:0.1%@1σ (標準8um臺階樣品)
傾斜度:±6°
XY行程:100mmX100mm
工作臺尺寸: 230X230mm(程控)
選項
FOV鏡頭: 0.5X,0.75X,1X,1.5X,2X(可選)
干涉物鏡:2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x (可選)
掃描范圍:多達可達10mm(電機掃描選項)