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我司有各類專業吸附劑，吸附劑也稱吸收劑，氣體吸附分離成功與否，極大程度上依賴于吸附劑的性能，因此選擇吸附劑是確定吸附操作的首要問題。
產品簡介
詳細介紹
一想到半導體行業，大家想到的是機械生產，材料，電子電器，與污染兩個字似乎也沒有什么關系。但事實上，半導體生產過程中使用了大量有機物和無機物，包括許多有毒有害物質，對環境危害較為嚴重。如不通過尾氣處理設備對廢氣尾氣加以控制，將會產生較大的環境污染。
半導體尾氣處理器
等離子水洗Local Scrubber設備，干式等
該設備主要去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體，如：CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。
噴淋塔
對于含有酸性/堿性物質的廢氣 ，半導體廠封閉車間大都采用大型臥式洗滌塔進行廢氣處理。