德國BMT干涉儀WLI Linik特點參數
德國BMT WLI Linik干涉儀特點:
•區域表面的形貌測量;
•數秒內快速測量;
•粗糙和光滑表面都可測量;
•測量結果不受樣品的顏色和材料影響;
•產品堅固耐用。
德國BMT WLI Linik干涉儀技術參數:
•光源 LED
•測量范圍 (mm) 150
•垂直分辨率(nm) 1
•橫向分辨率(μm) >0.2
•測量面積 (μm) 90×70
•工作距離,約(mm) 0.3
•光斑尺寸,約(μm) 0.95
•圖像尺寸(Pixel) 1~10
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