詳細(xì)介紹
二手JSM-7610Fplus場發(fā)射電鏡采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng),提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。此外,還具備利用GENTLE BEAM TM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過R-Filter分選信號(hào)等功能,滿足各種需求的高擴(kuò)展性。
技術(shù)參數(shù): 1.分辨率:0.8nm(15kV)/1.0 nm(1kV) 2.加速電壓:0.1 kV—30 kV 3.放大倍數(shù):25—100萬倍 4.樣品室尺寸:最大200mm直徑樣品
一、功能特色
配備半浸沒式物鏡,能將電子束收縮的很細(xì),實(shí)現(xiàn)低加速電壓下的高分辨成像;采用GENTLEBEAM™模式,通過給樣品加以偏壓使得電子束在到達(dá)樣品前減速的功能來實(shí)現(xiàn)低加速電壓下的有效觀察和分析;可通過r-filter選擇樣品上產(chǎn)生的二次電子和背散射電子信號(hào)進(jìn)行檢測。
二、技術(shù)參數(shù)
1. 電子槍類型:熱場發(fā)射槍
2. 加速電壓:0.1 – 30 kV
3. 二次電子像分辨率:0.8 nm(15kV)、1.0 nm(1kV)
4. 放大倍率: 25–1M倍
5. 能譜:Oxford X-Max50 電制冷能譜儀
三、應(yīng)用領(lǐng)域
通過掃描電子顯微鏡材料,可以進(jìn)行材料表面形貌的觀察;材料的斷口形貌的觀察,了解材料的破壞特征、材料內(nèi)部的結(jié)構(gòu)及缺陷;通過X射線能譜(EDS)和X射線波譜成分分析等電子探針附件,可掌握材料微區(qū)化學(xué)成分分析。
二手JSM-7610Fplus場發(fā)射電鏡技術(shù)參數(shù)
二次電子像分辨率 | 0.8 nm(加速電壓 15 kV),1.0 nm(加速電壓 1 kV ) | |||
倍率 | Direct magnification: x25 to 1,000,000(120 x 90 mm) | |||
加速電壓 | 0.1 ~ 30 kV | |||
探針電流 | 數(shù) pA ~ 200 nA | |||
電子槍 | 浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍 | |||
透鏡系統(tǒng) | 聚光鏡(CL)、 最佳光闌角控制鏡(ACL)、 半浸沒式物鏡(OL) | |||
樣品臺(tái) | 全對(duì)中測角樣品臺(tái)、5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | |||
電子檢測器系列 | 高位檢測器、 r‐過濾器 內(nèi)置、 低位檢測器 | |||
自動(dòng)功能 | 自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消象散、自動(dòng)亮度/襯度調(diào)節(jié) | |||
圖像觀察用 | 屏幕尺寸 23英寸寬屏 | |||
抽真空系統(tǒng) | 電子槍室/中間室 SIP 離子泵 |