詳細介紹
二手日立電鏡S-3000N:掃描電子顯微鏡的制造是依據電子與物質的相互作用。當一束高能的入射電子轟擊物質表面時,被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。同時,也可產生電子-空穴對、晶格振動 (聲子)、電子振蕩 (等離子體)。原則上講,利用電子和物質的相互作用,可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息,如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等等。
掃描電子顯微鏡正是根據上述不同信息產生的機理,采用不同的信息檢測器,使選擇檢測得以實現。如對二次電子、背散射電子的采集,可得到有關物質微觀形貌的信息;對x射線的采集,可得到物質化學成分的信息。正因如此,根據不同需求,可制造出功能配置不同的掃描電子顯微鏡。
二手日立電鏡S-3000N:技術指標:
二次電子分辨率 3.0nm (25kV,高真空模式)
VP可變壓力模式分辨率 4.0nm (25kV,可變壓力模式)
放大倍數范圍 5x~300,000x(65階)
加速電壓 0.3kV~30Kv
可變壓力范圍 1~270Pa
*大樣品尺寸 150mm直徑
圖像移動范圍 ±20µm(WD=15mm)
樣品臺(選項)
(1) 超優中心樣品臺
X: 32mm Y: 32mm Z: 5~35mm
R: 360° T: -90°~+90°
自動樣品臺: 無
(2) 80x40平動式樣品臺
X: 80mm Y: 10mm Z: 5~35mm
R: 360° T: -20°~+90°
圖形移動自動樣品臺
軟件:可選
(3)大型優中心樣品臺
X: 100mm Y: 50mm Z: 5~40mm
R: 360°T: -0°~+60°
圖形移動自動樣品臺
軟件:可選
(4)冷卻樣品臺-20
X: 15mm Y: 15mm Z: 15~35mm
R: 無T: -45°~+45°
自動樣品臺: 無
電子槍: U型鎢絲
槍偏壓
可加速電壓關聯
可變電壓(雙偏壓功能)
檢測器
SE檢測器
BSE檢測器,可變壓力模式
EDX位置 W.D.=15mm, 出入角=35°
操作語言 英語(日語)
計算機操作系統 PC兼容,Windows NT
SEM操作 鼠標、鍵盤旋鈕控制盤(選件)
掃描方式 TV,慢速(4步),照相(4步),分開
顯示器 大屏幕 XGA彩色顯示器(1024 x 768像素)
自動調節功能
自動聚焦,自動像散校正
自動亮度和對比度調節
自動燈絲飽和度調節
數字圖像儲存 640 x 480像素,1280 x 960像素
圖像格式 BMP
圖像數據條顯示
加速電壓,放大倍數,
微米標尺,WD(工作距離),照片放大倍數
真空度水平,檢測器,日期,文件號等
真空系統
全自動,DP 570L/Sec,
RP 160L/min x 2 (S-3000N)
RP 160L/min x 1 (S-3000H)
系統保護 斷電、失真空和缺水保護
主要特點
S-3000N和S-3000H的標準功能
1. Windows NT界面。
2. *的雙偏臺功能,即使在低電壓也有不錯的性能。
3. 和普通PC類似的用戶友好操作環境。
4. 交互式顯示器顯示和鼠標操作。
5. 旋鈕和鼠標控制都可以用于SEM參數設置。