詳細介紹
二手電鏡:簡介
日立新推出的高分辨場發射掃描電鏡,1kv的分辨率提升到1.3nm,并在探測器設計上有新的突破,配置了Lower、Up-per和Top三個Everhart-Thornley型探測器,可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號,實現微區的形貌襯度、原子序數襯度、結晶襯度和電位襯度的觀測;結合選配的STEM探測器,還可以實現明場像和暗場像的觀測;此外在半導體應用中,還可以安裝EBIC探測器,采集感生電流圖像,極大豐富了信號的采集,對樣品的信息的收集達到了新的高度。
技術特點:
1. 低加速電壓成像能力,1kv分辨率可達1.3nm
2. 日立的ExB設計,不需噴鍍,可以直接觀測不導電樣品
3. 配置Lower、Upper和Top三個Everhart-Thornley型探測器
4. Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像
5. 可以根據樣品類型和觀測要求選擇打開或關閉減速功能
6. 標配有冷指、電子槍內置加熱器,物鏡光闌具有自清潔功能
7. 儀器的烘烤維護及烘烤后的透鏡機械對中均可由用戶自行完成
二手電鏡:操作事項
1.1 制備樣品 SEM樣品制備相對簡單,原則上只要能放入樣品室的樣品,都可進行觀察。
但需注意以下事項:
a) 樣品在物理上和化學上必須要保持穩定,在真空中和電子束轟擊下不揮發或變形, 沒有腐蝕性和放射性。(通常是干燥固體。)
b) 由于光源是電子,樣品必須導電,非導電樣品可噴鍍金膜。金膜在一定程度上會影 響樣品原有形貌。(若樣品本身導電,襯底不導電,如藍寶石上的ZnO,只需用導電膠把樣品表面連到樣品臺。)
c) 由于物鏡有強磁性,帶有磁性的樣品制樣必須非常小心,防止在強磁場中樣品被吸入物鏡或分散在樣品室中。通常磁性樣品必須退磁,且工作距離(WD)須大于8mm。
具體操作過程:
(1) 按待測樣品數量選擇樣品臺,(支持直徑d=5mm,15mm,1 inch,2 inch等規格,若要觀測截面可選擇帶角度的樣品臺)。
(2) 剪一小段導電膠,粘到樣品臺上。若樣品為粉末,則把粉末撒到導電膠上,用吸耳球或高壓氮氣吹掃掉導電膠上未粘緊的粉末;若是塊狀樣品,則把樣品牢牢粘到導電膠上,用手輕輕推,樣品不會左右晃動。(為觀測時方便定位,將樣品排列成行(或列),并在行下方(或列左側)標上數字編號。)
(3) 樣品粘貼完成后,用吸耳球或高壓氮氣吹掃掉樣品臺上的粉末、灰塵、水珠、唾沫等(會影響照片質量,甚至使真空度下降而無法加高壓,推薦認真執行。)
1.2 查看真空度 打開前面板蓋,點擊MODE按鈕直至IP1指示燈閃,在登記表記下MULT INDICATOR數碼顯示管的讀數,同理讀取IP2,IP3并記錄。確認IP1<2E-7,IP2<2E-6,IP3<5E-5。(通常情況都是IP1顯示0E-8,IP2顯示0E-8,IP3顯示0E-8或aE-7,1。)
二、 開機操作
2.1 開機
網絡營銷干貨匯總
搜索營銷 社會化營銷 移動營銷 數據分析
a) 開啟冷卻循環水電源,循環水溫度顯示應在15-20℃,水位應浸沒金屬線圈。
b) 按下位于桌子右上角的顯示單元“DISPLAY”開關,
c) 電腦自動啟動,根據界面提示按“Ctrl+Alt+Delete”,口令為空,直接Enter進入系 統。系統自動啟動程序,口令為空,直接Enter進入程序。按下“—”啟動Display 進入程序
2.2 轟擊(flashing) 場效應電子掃描顯微鏡(FE-SEM)在程序啟動后會提示進行flash,(去除電子源——FE吸附的氣體分子,起清潔作用。)通常是每天開始使用SEM時flash
一次,并記錄發射電流Ie,當累計使用超過8小時,發射電流開始不穩定,需要再轟擊一次,同樣記錄下電流Ie。(注意flash不需要開啟觀測用的電子槍高壓,軟件顯示高壓off為灰色狀態。) 轟擊后可以立即觀察圖像。但是在初的1小時左右,有時會有圖像干擾(圖像中出現明暗的橫線)。進行高分辨率的觀察時,轟擊完1小時以上后再進行觀察。