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熬過(guò)疫情，走過(guò)2023，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)進(jìn)入了復(fù)蘇的節(jié)奏之中，無(wú)論是科技行業(yè)的產(chǎn)業(yè)終端還是半導(dǎo)體行業(yè)整體，需求規(guī)模都呈現(xiàn)出了上升向好的趨勢(shì)。伴隨著需求的上升，高質(zhì)量的芯片的需求也成為了剛需，更為精細(xì)高效的檢測(cè)設(shè)備及檢測(cè)方案已經(jīng)成為了明確的訴求。

Evident作為專業(yè)的光學(xué)儀器、檢測(cè)設(shè)備及解決方案提供商，針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)所產(chǎn)生的新需求不斷進(jìn)行探索，為半導(dǎo)體行業(yè)輸出了不少高效的定制化解決方案，為行業(yè)發(fā)展添磚加瓦。

2024年SEMICON CHINA，我們一起來(lái)看看Evident又帶來(lái)了什么驚喜給大家！

本次SEMICON，Evident再度攜旗下諸多旗艦產(chǎn)品，為半導(dǎo)體行業(yè)的客戶解決在各使用場(chǎng)景的不同檢測(cè)需求。

DSX1000數(shù)碼顯微鏡

AI助力如虎添翼

一直以來(lái)，顯微鏡都是晶圓檢測(cè)的重要工具，也是檢測(cè)流程中可以提升效率的一個(gè)切入點(diǎn)。而在晶圓檢測(cè)的流程中，需要多次更換鏡頭進(jìn)行檢測(cè)，無(wú)疑成為了影響效率的一大痛點(diǎn)。

(DSX1000應(yīng)用現(xiàn)場(chǎng)分享)

DSX1000數(shù)碼顯微鏡中的多款物鏡都支持多種觀察方式，可方便用戶快速確認(rèn)及選擇各類觀察圖像。配合多功能控制臺(tái)，可同時(shí)查看六種觀察方式下的樣品，極大程度上提升了觀察效率。搭配遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，使檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性有了保證。

本屆SEMICON中，Evident還創(chuàng)新展示了《顯微鏡最新AI解決方案》，并在DSX1000上展示AI閾值的一些應(yīng)用案例（金剛線、不良品檢測(cè)），并且將AI 閾值與傳統(tǒng)閾值的結(jié)果同時(shí)顯示在顯示屏上，會(huì)給觀眾更加直觀的感受。

OLS5100 3D測(cè)量激光顯微鏡

智能高效二者兼得

芯片制造工藝在近年飛速提升，這也對(duì)檢測(cè)的精度及效率提出了更高效率的要求。OLS5100 3D測(cè)量激光顯微鏡能夠兼顧智能檢測(cè)的同時(shí)，還保證了檢測(cè)的精度。

OLS5100 3D測(cè)量顯微鏡具備了亞微米3D觀察和表面粗糙度測(cè)量高水平的準(zhǔn)確性和精度，可以為用戶穩(wěn)定輸出可靠的數(shù)據(jù)。配套的智能實(shí)驗(yàn)管理助手能夠自動(dòng)執(zhí)行需要耗費(fèi)大量時(shí)間的任務(wù)，讓分析工作流程更加簡(jiǎn)單。操作員只需將樣品放在載物臺(tái)上，按下開(kāi)始鍵即可針對(duì)待測(cè)樣品進(jìn)行精細(xì)的形貌測(cè)量。

MX63L顯微鏡+AL120晶圓搬送機(jī)

大尺寸樣品檢測(cè)無(wú)憂

在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中，對(duì)檢測(cè)準(zhǔn)確度的高要求毫無(wú)疑問(wèn)非常關(guān)鍵。然而，對(duì)于檢測(cè)工作的靈活性需求也正變得日益重要。在這一背景下，MX63L顯微鏡與AL120晶圓搬送機(jī)的結(jié)合，于眾多明星產(chǎn)品中脫穎而出，特別適用于大尺寸樣本的檢測(cè)。這一組合可在高質(zhì)量檢測(cè)領(lǐng)域顯示出其優(yōu)勢(shì)，提供了靈活、便捷、高效的檢測(cè)解決方案。

MX63L顯微鏡借助其高級(jí)照明功能，能夠同時(shí)展示晶圓的電路圖樣和顏色信息，提高了圖像的銳度和清晰度，從而提升了工作效率和報(bào)告生成的質(zhì)量。結(jié)合AL120晶圓搬送機(jī)，可以快速且安全地將半導(dǎo)體晶圓從存儲(chǔ)盒中轉(zhuǎn)移到顯微鏡的載物臺(tái)上。得益于360度自動(dòng)旋轉(zhuǎn)功能，檢測(cè)人員可以輕松地對(duì)晶圓的正反兩面進(jìn)行全面檢測(cè)，便于識(shí)別任何缺陷或塵埃。

全自動(dòng)顯微鏡BXC系列組件

模塊化助力效率升級(jí)

這一系列專注于提供高品質(zhì)的全電動(dòng)顯微鏡組件，其緊湊的結(jié)構(gòu)和自動(dòng)聚焦模塊，專為OEM集成和開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)。其多功能性和模塊化設(shè)計(jì)使其成為檢查和成像應(yīng)用的理想選擇，包括晶圓對(duì)準(zhǔn)、缺陷檢測(cè)和圖像拼接等多種工作流程。

多功能定向暗場(chǎng)功能，通過(guò)使用MIX滑塊實(shí)現(xiàn)的定向暗場(chǎng)技術(shù)，可以與明場(chǎng)、簡(jiǎn)單偏光或熒光觀測(cè)相結(jié)合。此外，自動(dòng)對(duì)焦裝置、各類物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)等組件，可根據(jù)實(shí)際檢測(cè)需求進(jìn)行調(diào)整，讓定制化檢測(cè)需求成為可能。

大屏互動(dòng)

引爆現(xiàn)場(chǎng)

本次SEMICON現(xiàn)場(chǎng)，我們采用了活動(dòng)方式，吸引了諸多現(xiàn)場(chǎng)參展觀眾駐足，各類精彩定制好禮，為展會(huì)增添了別樣的趣味。

Evident相信，伴隨著半導(dǎo)體行業(yè)蒸蒸日上的、更有技術(shù)的突破以及檢測(cè)方式的創(chuàng)新，在中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)成長(zhǎng)路上，Evident會(huì)繼續(xù)堅(jiān)定的提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品及完善的解決方案。