潔凈室檢測內容

潔凈室檢測-光照度測試

一、測前準備  

1.潔凈室所有開孔皆需封閉氣密處理完成 
2.測試前空調系統應已完成測試、調整、平衡，并已連續運轉24小時以上。  3.潔凈室環境需清潔完成 
二、測試目的 
此檢測動作在于確認無塵室照明系統是否有達到設計要求。 
三、測試儀器
照度儀 
四、測試步驟 
1.無塵室光源至少使用100小時以上，測試前需點亮2小時以上。  
2.確認測試點及配置圖編號。  
3.將照度儀固定置于距離地板上1.2m高度，待數值穩定后量測10秒記錄

溫濕度檢測

一、說明 

溫濕度測量的目的是確認室內之溫濕度控制在范圍之內，溫濕度對微粒控制沒有甚么影響，因此溫濕度測試屬于第三級測試（ Level 3 ）。但是因無塵室多半同時也是環控室，所以溫濕度常常就一并測量了。溫濕度測量又分為一般測量和進階測量（ General Tests and Comprehensive Tests ），一般測量只是測量溫濕度在測量點的實時數據（單一測數據），適用在對溫濕度要求不高的場所。進階測量就要紀錄在測量點一段長時間的溫濕度，目的是要觀察溫濕度隨時間的變化情形，以確認濕度在控制之下。進階測量適用在對溫濕度要求比較高的場所。

二、測試儀器：

常見的溫濕度儀器是電子式溫度計與鏡面冷凝光學式濕度計，一般測量和進階測量使用儀器的精度相同，溫度測量范圍是 0-100 ℃ ，準確度是 ±0.2 ℃ 。濕度測量范圍是 10 ﹪ 到 95 ﹪ ，準確度是 ±2 ﹪ 。一般測量要求溫度之顯示值可顯示 0.1 ℃ 的變化，濕度的顯示值可顯示 1 ﹪ 的變化。進階測量則要求溫度之顯示值可顯示 0.05 ℃ 的變化，濕的顯示值可顯示 0.1 ﹪ 的變化。檢測儀器需校正合格且仍在有效期限內者，于測試前或交附報告時均須檢附合格之校正文件。 

三、測試程序

1.確認空調系統已經安裝完成，并已完成測試、調整、平衡。空調系統測試、調整、平衡可以平衡風量和水量，使其達到設計要求，為溫濕控制提供正確的運轉環境，因此系統要先平衡才能測試。  

2.依據平面圖，列出各種溫濕度要求區域，并使系統達到正常運轉狀況，系統應在溫濕度自動控制之下，至少運轉 24 小時以上。  

3.測試點數為每個房間至少量一點，并且每個溫濕度控制區至少量一點，例如每個 Dry Coil 的控制范圍要量一點，測量高度為 ( 高架 ) 地板上 1.00m 。  

4.將溫濕度傳感器放置同一位置，待穩定后開始記錄。

靜電測試內容：

• ◆泄漏電阻
• ◆系統接地電阻
• ◆體積電阻
• ◆表面電阻
• ◆系統電阻

依據規范：

• ◆GB50591-2010    《潔凈室施工及驗收規范》     
• ◆GB/T25915-2010  《潔凈室及相關受控環境》
• ◆ISO 14644_2006   Cleanrooms and associated controlled environments

超純水測試

大灣在純水方面提供的測試服務范圍為：

•  ◆TOC(總有機碳)
•  ◆電阻率 
•  ◆溶解氧(DO)
•  ◆細菌測試
•  ◆溶解SiO2
•  ◆顆粒測試 （潔凈度測試）

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