目錄:上海倍藍光電科技有限公司>>隔振平臺>> 氣浮綜合性主動隔振系統LaserTable-base
概述
LaserTable-Base™是現有光學平臺隔振技術的一大飛躍。通常,光學平臺由低頻氣動隔振系統支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效,但這些被動系統實際上放大了關鍵的1至3 Hz范圍內的振動。
TMC的STACIS通過結合壓電致動器和慣性振動傳感器的專有技術克服了這些限制,可消除而不會放大極低頻振動。LaserTable-Base將這兩項技術(空氣和STACIS)整合到一個集成的消振系統中。由于兩個串聯隔振系統的綜合效應,這實現了低頻率消振和**的高頻隔振水平。
LaserTable-Base的上部氣動部分采用模塊化設計,可互換。它可以結合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空氣隔振器或剛性、非隔振支架,具體取決于應用要求。
規格
? 采用STACIS®技術
? 主動慣性消振系統
? 消振從低于1 Hz開始
? 加長行程的壓電致動器,高達60微米。
? 6個主動自由度
? 由兩個串聯隔振系統組成,可實現**隔振效果
? 采用MaxDamp®空氣隔振器
? 簡單、堅固且經濟高效
? 可選的擱板,用于在工作臺下方安裝設備
? 包括TMC的DC-2020數字控制器
性能
將低頻、被動MaxDamp®空氣隔振器與壓電主動消振系統串聯在一起,可得到整體傳遞率曲線,即兩條單獨傳遞率曲線的總和。由此產生的隔振性能非常顯著,在某些頻率范圍內,我們受到測量儀器噪聲基底的限制。并且無法測量和演示完整的隔振性能。也就是說,在10-12 Hz以上,組合系統的實際性能預計將超過所示性能,因為組合隔振理論上是兩個子系統所提供的隔振的總和。
應用照片