目錄:上海倍藍光電科技有限公司>>隔振平臺>> 地面式主動隔振平臺STACIS Quiet Island
概述
半導體制造工廠、納米技術中心、納米工廠和其他精密制造和研究中心通常將潔凈室與活動假地面系統結合在一起，以滿足復雜的設施要求（管道、電纜、燃氣管道等）和保持嚴格的清潔標準。這種地面不適用于對振動敏感的生產、檢測和計量設備。活動地面無法為這些工具提供必要的安靜振動環境。TMC的Quiet Island用一個固定在下面底層地面上的“安靜島"替換一部分活動地面區域，提供了一種創新的解決方案。Quiet Island包括一個兼容潔凈室的平臺頂部和一個應用和現場特定的支撐結構。
消振
Quiet Island**的主要支撐元件和核心技術都集成在STACIS III主動消振系統中。這種“剛性"式慣性消振支撐系統是任何振動敏感型儀器的理想選擇，它使此類工具能夠在嘈雜的環境中以**高標準運行。STACIS III兼容自動化晶圓加工工具、高分辨率電子束成像工具、離子束銑削工具以及任何帶有被動或主動內部隔振系統的工具（請參閱我們關于在主動隔振器上堆疊主動隔振器的）。此外，它還提供了**寬頻率范圍內的**隔振性能。并且“硬安裝"設計非常堅硬，因此對于較高、上重下輕的工具，不會出現穩定性問題。
立管和支架
用于支撐STACIS隔振器的極其堅固耐用的立管由TMC經驗豐富的工程團隊設計，并由我們的ISO 9001工廠按照高標準和焊接認證規格制造。每個Quiet Island都經過精心設計，適合各種活動地面高度、底層地面幾何形狀和工具尺寸。TMC在安裝了數千個支撐200多種不同儀器型號的裝置，擁有豐富的知識和經驗，可以設計滿足STACIS和您設施需求的支撐結構。
剛性平臺
該平臺由一個經TMC設計和制造的4英寸（100毫米）厚的鋼板夾層組成，其中鋼板夾在一種輕質、不可壓縮、阻尼的芯材料周圍。剛性鋼板和芯用環氧樹脂粘合到一個無縫不銹鋼盤中的分層效果提供了的剛度和結構阻尼。大橫截面和鋼含量產生了非常高的整體剛度。頂部和側面是一個連續的一體式不銹鋼外殼，以保持清潔、美觀和完整性。TMC可根據需要設計和制造特定于應用的平臺，包括切口、特殊形狀、固定孔和吊環螺栓。
Quiet Islands vs. Quiet Buildings
Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]
Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at "as built" and two times thereafter [2]
It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]
The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).
TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Islａnd solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab" with a “raised floor" allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Islａnd only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.
See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing "Quiet" Buildings article on AZO Nano.
1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source
2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source
Quiet Island的優勢
采用STACIS - TMC業界**的主動壓電消振技術、“硬安裝"設計和始于0.6 Hz的隔振與內置隔振器的工具兼容。
模塊化、定制和重新定位的靈活性 - 每個平臺都根據客戶的應用量身定做，但與混凝土平臺不同，如果工具或地面特性發生變化，這些平臺可以很容易地重新進行配置。
專業知識 - TMC擁有與**的半導體制造商、科研機構和超精密OEM合作的豐富經驗。我們了解客戶及其需求。我們自己設計和制造。
性能
規格
性能規格
| 主動自由度 | 6 |
| 主動帶寬 | 0.6 Hz - 150 Hz |
| 被動固有頻率 | 18 Hz垂直和水平 |
| 有效的主動共振頻率 | 0.5 Hz |
| 1 Hz時的隔振 | 40% - 70% |
| ≥2 Hz時的隔振 | ≥90% |
| 10磅（4.5千克）步進輸入后的穩定時間（減少10:1） | 0.3秒 |
| 內部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
| 每個隔振器的工作負載范圍 | 低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克） 中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克） 高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克） |
| 剛度（1000磅/454千克質量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
| 從距離隔振器**4英寸（102毫米）處發射的磁場 | <0.02 μG broadbａnd RMSd> |
隔振器設計、尺寸、環境和效用要求
| 環境和安全 | 符合CE和RoHS標準 |
| 主動隔振元件 | **小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號，其輸出高達800 VDC。垂直執行器支撐隔振的有效載荷 |
| 被動隔振元件 | 單個硬質各向同性彈性體（無需壓縮空氣源） |
| 振動傳感器元件 | 向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測量隔振器下方的地面振動，并提供與振動運動速度成正比的電壓 |
| 主動反饋控制回路 | 在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動 |
| 隔振器尺寸（寬x深x高） | 11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 毫米 |
| 隔振器重量 | 75磅（34千克） |
| 工作溫度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
| 儲存溫度 | -40° - 130° F -40° - 55° C |
| 濕度 | 30 - 60% |
| 系統電源要求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W 符合CE標準 |
| 地面位移 | <480μin. (12μm) below 10Hzd> |
| 每個系統的隔振器數量 | 至少3個 |
| 可選附件 | 層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調平裝置、抗震裝置、提升罩 |
DC-2020控制器規格
| 尺寸（寬 x 深 x 高） | 19 x 8.5 x 1.75英寸 483 x 216 x 45 mm |
| 重量 | 6.3磅（2.9千克） |
| 處理器 | 150/75 MHz雙核 |
| 采樣率 | 10 kHz |
| 模擬輸出 | 16個通道 |
| 模擬輸入 | 16個通道 |
| 狀態燈 | 單個LED |
| 前面板端口 | 1個串行USB 2.0 1個串行Micro-USB 1個以太網RJ-45 2個BNC |
| 后面板端口 | 1個串行USB 2.0 1個以太網RJ-45 1個RS-232 DB-9傳統串行，用于傳統的STACIS 2100隔振器 |
| 用戶界面 | 前面板液晶顯示屏 超級終端上的字符菜單 適用于Microsoft Windows的擴展GUI 嵌入式以太網GUI |
其他參數
| 平臺表面 | 不銹鋼表面頂部和側面； 環氧涂漆鋼底部 |
| 平臺結構 | 專有的多層層壓鋼板 |
| 尺寸 | 量身定制 |
| 標準高度 | 15、18、20、24、30、36、48英寸 38、46、51、61、76、91、122厘米 還可提供定制高度 |
| 負載能力 | 量身定制 |
| 剛性立管和支架 | 獲認證的焊接、全鋼結構， 與潔凈室兼容的粉末涂層表面 |
| 可選附件 | 限制支架、平臺頂部吊環螺栓， 用于格子式底層地面的橋板 |
| 平臺頂部版本 | 切口、通孔、用于固定工具的螺紋孔 |
其他Quiet Island配置
不具有環境振動規格的大型儀器通常需要一個與活動地面分開的剛性且穩定的支架。剛性Quiet Island是理想的解決方案。剛性Quiet Island具有相同的高性能平臺頂部，也可為任何高度、任何底層地面幾何形狀的活動地面潔凈室以及各種工具尺寸定制設計。TMC提供一系列不同類型的支柱，以滿足各種需求，從而形成了特定于儀器和工廠的模塊化、可靈活地重新定位和升級的解決方案。
應用照片
由于安裝在我們Quiet Island®底層地面平臺上設備的復雜性、敏感性和價值，我們未創建用于訂購的標準目錄號。
我們認為應為特定應用定制設計每個平臺。建議的訂購步驟如下：
? 告訴我們您要隔離的設備或儀器。由于我們已安裝了成千上萬的裝置，我們可能已有滿足您應用要求的平臺設計。此外，我們還與步進器、對準器、SEM和其他工具制造商保持密切聯系，因此，我們了解**新的尺寸、形狀、重量變化和地面振動規格。
? 或者，您可能想要一個適合活動地面網格系統的平臺。客戶通常選擇47 x 47英寸（1,190 x 1,190毫米）的平臺來替換偶數塊地磚。
? 告訴我們您的活動地面高出堅實底層地面的高度。
? 請向我們描述或提供一個顯示您底層地面或鋼梁/格子板幾何形狀中的任何孔圖案的插圖。
? 請向我們提供地面振動數據或與我們討論如何安排測量這些數據。
? 考慮儀器的振動靈敏度。我們的剛性、非共振支柱設計為許多工具提供了充分的支撐。更敏感的應用將需要空氣或壓電支撐
2
化工儀器網