可定制 納米二氧化硅-納米氮化硅復合材料
摘要：一種納米二氧化硅-納米氮化硅復合材料,包括多個由納米二氧化硅包覆在納米氮化硅表面形成的微粒,其中,所述納米氮化硅與納米二氧化硅的質量比為1:1~10:1.納米氮化硅與納米二氧化硅按質量比1:1~10:1進行復合,使得該復合材料的,介電常數較低,能夠應用于大規模集成電路電子封裝等領域.還提供一種納米二氧化硅-納米氮化硅復合材料的制備方法.
可定制 納米二氧化硅-納米氮化硅復合材料
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