鈦酸鍶(SrTiO3)晶體 單晶基片
鈦酸鍶(SrTiO3)是當前應用高溫導單晶基片之一。它與 YBaCuO 等高溫導材料的晶格 匹配好,無孿晶結構,物理、機械性能。使用多種制膜(如磁控濺射,脈沖激光沉積,激光分子 束外延等)制作的多種高溫導薄膜(Y-系,Bi-系,La-系等)均可得到 TCO≥90°K, JCO≥106A/cm2 等指標。SrTiO3 也是高溫導結(使用雙晶基片或臺階狀基片)及基片臺階化(按某些角度斜切并 熱處理)的單晶材料。
晶系 立方晶系
生長方法 火焰法
晶格常數 a=3.905Å
熔點(℃) 2080
密度 5.122(g/cm3)
硬度 6-6.5(mohs)
熱膨脹系數(/℃) 9.4×10-6
介電常數 ε=5.20
化學穩定性 在水中不溶解
熱膨脹系數 10.4×10-6/k
正切損耗 ~5×10-4(300k) ~3×10-4(77k)
顏色及外觀 透明(根據退火狀態有時有輕微的棕色)無鸞晶
尺寸 10×3m、10×5m、10×10mm、15×15mm、20×15mm 可按照客戶需求,定制方向和尺寸的基片
厚度 0.5mm、1.0mm
尺寸公差 <±0.1mm
厚度公差 <±0.005mm要求可<±0.005mm)
拋光 單面或雙面
晶面定向精度 ±0.5°
邊緣定向精度 2°(要求可 1°以內)
取向 <100>、<110>、<111>等
主要特點 它與 YBaCuO 等高溫導材料的晶格匹配好,無孿晶結構,物理、機械性能
主要用途 SrTiO3也是高溫導結(使用雙晶基片或臺階狀基片)及基片臺階化(按某些角度斜切并熱處理)的單晶材料。
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