Si3N4陶瓷基片 晶體基片
氮化硅的強度很高，是熱壓氮化硅，是上堅硬的物質之一。它極，強度一直可以維持到１２００℃的高溫而不下降，受熱后不會熔成融體，一直到１９００℃才會分解，并有驚人的耐化學腐蝕性能，能耐幾乎的無機酸和３０％以下的燒堿溶液，也能耐很多有機酸的腐蝕；同時又是一種電材料。氮化硅陶瓷可做燃氣輪機的燃燒室、機械密封環、輸送鋁液的電磁泵的管道及閥門、模具、鋼水分離環等。
Si3N4陶瓷基片 晶體基片
氮化硅(Si3N4)陶瓷
氮化硅陶瓷是一種燒結時不收縮的無機材料。它是用硅粉作原料，先用通常成型的方法做成所需的形狀，在氮氣中及１２００℃的高溫下進行初步氮化，使其中一部分硅粉與氮反應生成氮化硅，然后在１３５０℃～１４５０℃的高溫爐中進行次氮化，反應成氮化硅。用熱壓燒結法可制得理論密度９９％的氮化硅。
分子式 Si3N4
相對分子質量 140.28
顏色 灰色、灰黑色
晶系 六方晶系。晶體呈六面體
陶瓷片制備方法 熱壓法
相對密度 99.5%
密度 3.2+/-0.02 g/cm3
莫氏硬度 9~9.5
熔點 1900℃（加壓下）。通常在常壓下1900℃分解
熱膨脹系數 2.8~3.2×10-6/℃(20~1000℃)
比熱容 0.71J/(g·K)
熱導率 15~ 20W/(m·K)
彈性模量 300~320 GPa
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