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技術參數
XY掃描器
閉環控制式單模塊柔性XY掃描器。
掃描范圍: 50 μm × 50 μm (可選 100 μm × 100 μm)
分辨率: 0.05 nm
定位檢測噪音: < 0.3 nm (帶寬: 1 kHz)
水平線性: < ２nm (over 40 μm scan)
Z掃描器
柔性引導高力度掃描器
掃描范圍: 15 μm (可選 30 μm)
分辨率: 0.015 nm
定位檢測噪音: 0.03 nm (帶寬: 1 kHz)
共振頻率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)
表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)
光學系統
可觀察樣品和探針的直視同軸光學系統
視場: 480 × 360 μm (10× objective lens)
CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）
物鏡
10x (0.21 NA) 超長工作范圍的鏡頭(1 μm分辨率)
20x (0.42 NA) 高分辨率長工作范圍的鏡頭(0.6 μm 分辨率)
信號處理
ADC: 18個通道
4 個高速 ADC 通道 (50 MSPS)
X,Y和Z掃描器定位傳感器的24-bit ADCs
DAC: 12 信道
2 個高速 DAC 通道 (50 MSPS)
X,Y和Z掃描器定位的20-bit DACs
大數據大小: 4096 x 4096 像素
集成功能
3個通道數字鎖相放大器
熱噪聲法標定彈性系數
數碼Q控制
外部信號介入
20個嵌入式信號輸入/輸出端口
5個TTL輸出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias
原子力顯微鏡原子力顯微鏡原子力顯微鏡
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