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STACIS®III主動隔振系統(tǒng)主動光學(xué)平臺

STACIS®III是*的主動振動隔離系統(tǒng)。采用*的慣性振動傳感器，復(fù)雜的控制算法，和*的壓電致動器。STACIS通過連續(xù)測量地板活動、擴(kuò)大和收縮壓電致動器過濾地板振動來進(jìn)行實(shí)時(shí)隔離振動。
初被設(shè)計(jì)用于*半導(dǎo)體工廠的精密顯微光刻、計(jì)量和檢測設(shè)備的隔振，STACIS現(xiàn)在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案，包括但不局限于半導(dǎo)體晶圓廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米加工設(shè)備

Stacis III包括一個(gè)新型改進(jìn)的數(shù)字控制器－DC-2020。 它搭載全新高效的雙核處理囂， 前后面板上都配備以太網(wǎng)和USB串口，新型*控制系統(tǒng)為用戶提供了一個(gè)現(xiàn)代 的、 易于使用的圖形用戶界面（GU幣。
Stacis III在世界各地有數(shù)百個(gè)成功安裝案例， 對于大部分振動敏感儀器來說都是理想的振動清除系統(tǒng)。

STACIS®III主動隔振系統(tǒng)主動光學(xué)平臺STACIS相比于氣浮支腿更加堅(jiān)固可靠， 且不存在氣浮隔振系統(tǒng)離不開氣源的局限 性． 它元?dú)飧≈危?并且與主動的氣浮系統(tǒng)不同， STACIS可以放置在具有內(nèi)部主動空 氣隔離系統(tǒng)的設(shè)備下面， 且兩個(gè)隔振系統(tǒng)相互兼容．
設(shè)計(jì)有*的通信串口和專有high-force壓電技術(shù)導(dǎo)致其具有大的主動帶寬0.6赫茲到150赫茲， 以及從2Hz開始主動振動消除性能可達(dá)至90%。

性能級參數(shù)：

應(yīng)用案例：