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SN內槽測量儀
用 于測量溝槽、凹槽的寬度；帶有測頭收回裝置，但收回后，測頭減少的幅度小于ST系列。但相對ST系列，SN可測量小溝槽的直徑。應用范圍為60~300mm。 如果被測溝槽的精度只需要達到0.01，建議使用經濟型的ON/ONM系列
| 測量范圍 | 重復精度 | zui大誤差 |
| 60-300 | ≤1.0μm | ≤2.0μm |
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