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產品簡介
JY-S100 PLUS離子濺射儀（噴金儀）是一款桌上型冷態磁控濺射鍍膜系統，標配旋轉傾斜樣品臺，特別適用于各種表面形貌的非導電樣品在掃描電鏡成像中的高質量鍍膜，也可滿足電極鍍膜，半導體等材料鍍膜的要求。
詳細介紹
JY-S100PLUS 是一款桌上型冷態磁控濺射鍍膜系統，標配旋轉傾斜樣品臺，特別適用于各種表面形貌的非導電樣品在掃描電鏡成像中的高質量鍍膜，也可滿足電極鍍膜，半導體等材料鍍膜的要求。
JY-S100 PLUS離子濺射儀（噴金儀）主要特性
通過新型高效低壓直流磁控頭進行“超冷"濺射，避免樣品表面受損；
對于近距離的樣品，新型磁控管設計可提供廣角覆蓋濺射；
用于泄氣、吹掃和排氣的獨立電磁閥設計，確保設備的快速運行；
噴鍍電流控制不受樣品室內氣壓影響，可得到一致的鍍膜速率和鍍膜效果。
可使用多種金屬靶材：Pt, Au, Au/Pd, Pt/Pd（Pt 靶為標配），靶材更換快速方便。
JY-S100 PLUS離子濺射儀（噴金儀）技術參數
濺射系統 | |
| 靶材 | Pt 靶為標配，可選 Au，直徑 57mm x 0.1mm 厚 |
| 標配旋轉傾斜樣品臺 | 旋轉速度：0~60rpm 連續可調，傾斜角度：-45°~ 45°連續可調； 不銹鋼腔體：直徑 120mm X 高 75mm； 觀察窗：直徑 120mm X 高 45mm； 標配旋轉臺直徑 40mm，可放 4 個標準樣品臺，其它規格可訂做；具有雙重鎖緊裝置，可確保樣品在旋轉傾斜時不會松動脫落。 |
| 濺射電流 | 微處理器控制，安全互鎖，電流 5~40mA |
| 濺射頭 | 新型低電壓磁控管設計，靶材更換快速，環繞暗區護罩 |
| 計量表 | 真空： Atm ~ 3 Pa，電流：0~99mA |
控制方法 | 帶有“開始"“暫停"按鈕的微處理控制器（1－999s），自動抽氣、濺射、關機后自動放氣。 |
真空系統 | |
| 抽氣速率 | 133L/MIN |
| 極限真空 | 0.05 Pa |
| 噪音 | 56dB |