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詳細介紹
ALD R-200原子層沉積系統產品介紹：
PICOSUN™ R系列設備提供高質量ALD薄膜的沉積技術，并在各種各樣的襯底上都表現的均勻性，包括挑戰性的通孔的、超高深寬比和顆粒等樣品。我們為液體、氣體和固體化學物提供的更高級的，易更換的前驅源系統，能夠在晶圓、3D樣品和各種納米特性的樣品上生長顆粒度小的薄膜層。在基本的PICOSUN™ R系列配置中可以選擇多個獨立的，*分離的源入口匹配多種類型的前驅源。PICOSUN™ R系列*的擴展性使ALD工藝可以從研究環境直接過渡到生產環境的PICOSUN™ P系列ALD系統。由于研發型與生產型PICOSUN™反應腔室核心設計特點都是相同的,這消除了實驗室與制造車間之間的鴻溝。對大學來說,突破創新的技術轉化到生產中，就會吸引到企業投資。
ALD R-200原子層沉積系統技術指標：
襯底尺寸和類型 | 50 – 200 mm /單片 156 mm x 156 mm 太陽能硅片 3D 復雜表面襯底 粉末與顆粒 多孔，通孔，高深寬比（HAR）樣品 Roll-to-roll , 襯底大寬 70 mm |
工藝溫度 | 50 – 500 °C, 可選更高溫度 |
基片傳送選件 | 氣動升降（手動裝載） 預真空室安裝磁力操作機械手（Load lock ） 半自動裝載，用PICOPLATFORM™200集群系統實現 25片晶圓盒對盒式全自動裝載（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM™200集群系統實現 |
前驅體 | 液態、固態、氣態、臭氧源、等離子體（多4路氣體） 6根獨立源管線，多加載12個前驅體源（加上Plasma管路，共7根獨立源管線） |
重量 | 350kg+ 200 kg |
尺寸（ W x H x D)） | 取決于選件 小146 cm x 146 cm x 84 cm 大189 cm x 206 cm x 111 cm |
選件 | 集群工具，PICOFLOW™ 擴散增強器，集成橢偏儀，QCM，RGA，超高真空兼容，N2發生器，尾 氣處理器，定制設計，手套箱集成（用于惰性氣體下裝載） |
驗收標準 | 標準設備驗收標準為 Al2O3 工藝 |
應用領域：
客戶使用PICOSUN™ R系列ALD 設備在150mm和200mm（6“和8"）晶圓上所沉積薄膜厚度均勻性數據。
材料 | 非均勻性(1σ) |
AI2O3 (batch) | 0.13 % |
SiO2 (batch) | 0.77 % |
TiO2 | 0.28 % |
HfO2 | 0.47 % |
ZnO | 0.94 % |
Ta2O5 | 1.0 % |
TiN | 1.10 % |
CeO2 | 1.52 % |
Pt | 3.41 % |
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