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詳細介紹
高純度的金屬濺射靶材適用于多種品牌的離子濺射儀： 包括PELCO®, Agar, Bal-Tec, Bio-Rad, Denton, Edwards, Emitech, Emscope, Gatan, ISI, JEOL, LEICA, Polaron, Quorum, and SPI.這些磁控濺射靶材的直徑分為60,57,54,50和19mm。
1、高純60mm金屬靶材：適用于Denton DESK II / DESK III / DESK IV/ DESK V, Edwards 150 B / SCANCOAT, Emitech K500/K550/K650和Emscope SC500離子濺射儀。
貨號 | 產(chǎn)品描述 | 單位 |
91217 | 銅靶, 99.99% Cu (?60mm x 0.076mm) | 塊 |
91210 | 金靶, 99.99% Au (?60mm x 0.1mm) | 塊 |
91212 | 金鈀合金靶, 99.99% Au:Pd 60/40 (?60mm x 0.1mm) | 塊 |
91216 | 鎳靶, 99.98% Ni (?60mm x 0.1mm) | 塊 |
91214 | 鉑靶, 99.95% Pt (?60mm x 0.1mm) | 塊 |
91219 | 鈀靶, 99.95% Pd (?60mm x 0.1mm) | 塊 |
91229 | 銀靶, 99.99% Ag (?60mm x 0.1mm) | 塊 |
2、高純57mm金屬靶材：適合于 108/208, Emitech SC7620/SC7610/K575X/K575XD, ISI 5400, JEOL JFC 1200/1300/1400/1600/2300HR, PELCO® Model 3, SC4/SC5/SC6/SC7, Polaron 5000/5400/SC7610/SC7620, Quorum Q150, 和 SPI Module/Super離子濺射儀
貨號 | 產(chǎn)品描述 | 單位 |
8074 | 鉻靶, 99.95% Cr (?57mm x 3.2mm) (208HR only) | 塊 |
91117 | 銅靶, 99.99% Cu (?57mm x 0.1mm) | 塊 |
8077 | 銅靶, 99.99% Cu (?57mm x 0.3mm) | 塊 |
91110 | 金靶, 99.99% Au (?57mm x 0.1mm) | 塊 |
8071 | 金靶, 99.99% Au (?57mm x 0.2mm) | 塊 |
91112 | 金鈀合金靶, 99.99% Au:Pd 60/40 (?57mm x 0.1mm) | 塊 |
91111 | 金鈀合金靶, 99.99% Au:Pd 60/40 (?57mm x 0.2mm) | 塊 |
91132-B | 銦錫氧化物靶 , 99.99% ITO, In2O3/SnO2 90/10 wt % 背面有1mm 銅片, (?57mm x 3mm 總厚)(208HR only) | 塊 |
91120 | 銥靶, 99.95% Ir (?57mm x 0.3mm) (208HR only) | 塊 |
91124 | 鐵靶, 99.5% Fe (?57mm x 0.12mm) (208HR only) | 塊 |
8073 | 鉬靶, 99.95% Mo (?57mm x 0.25mm) (208HR only) | 塊 |
91116 | 鎳靶, 99.98% Ni (?57mm x 0.1mm) (208HR only) | 塊 |
8079 | 鈮靶, 99.95% Nb (?57mm x 0.25mm) (208HR only) | 塊 |
91119 | 鈀靶, 99.95% Pd (?57mm x 0.1mm) | 塊 |
91114 | 鉑靶, 99.95% Pt (?57mm x 0.1mm) | 塊 |
8076 | 鉑鈀合金靶, 99.99% Pt:Pd 80/20 (?57mm x 0.1mm) | 塊 |
91115 | 鉑鈀合金靶, 99.99% Pt:Pd 80/20 (?57mm x 0.2mm) | 塊 |
91118 | 銀靶, 99.99% Ag (?57mm x 0.1mm) | 塊 |
91129 | 銀靶, 99.99% Ag (?57mm x 0.3mm) | 塊 |
8075 | 鉭靶, 99.95% Ta (?57mm x 0.3mm) (208HR only) | 塊 |
91123 | 鈦靶, 99.6% Ti (?57mm x 0.2mm) (208HR only) | 塊 |
8078 | 鎢靶, 99.95% W (?57mm x 0.25mm) (208HR only) | 塊 |
3、高純54mm金屬靶材，適合于Bal-Tec SCD005/040/050/500, MED10/20 和LEICA EM SCD 005/050/500, MED 020 離子濺射儀。
4、高純50mm金屬靶材，適合于Anatech/Technics Hummer I, II, III, Fullam EffaCoater 和 Fullam EMS-76離子濺射儀。
6、高純19mm金屬靶材，適合于Gatan Model 681 and 682 PECS 離子束濺射儀
鍍非導電SEM樣品時，如何選擇相應靶材： | |
Gold黃金 | 優(yōu)良的靶材，廣泛應用于標準SEM鍍膜。對于冷鍍膜離子濺射儀(如Cressington 108auto)，對于熱敏性樣品幾乎不會產(chǎn)生任何熱量. 在高倍SEM下可看到顆粒尺寸. |
Gold/Palladium金鈀合金 | 濺射率低于純黃金. 與Au相比，Au/Pd 的顆粒更小,但由于其有兩個峰，所以不是很適合EDS分析，也不是很適合熱敏性物質(zhì)鍍膜。 |
Palladium鈀 | 成本低，可用于中低放大倍數(shù)場合，具有更低的SE信號 |
Platinum鉑金 | 具有比Au 或 Au/Pd更小的濺射顆粒。但濺射率更低。如果有氧氣，則應力開裂的敏感性。有更高的SE產(chǎn)出。 |
Platinum/Palladium鉑鈀合金 | 顆粒大小與Pt差不多，但應力開立的敏感性較小。非常適合FESEM，但更適合高分辨率鍍膜儀208HR. |
Silver銀 | 成本低，可用于中低放大倍數(shù)場合，顆粒比Au大. 適合于小型SEMs。與Au或Pt相比，SE產(chǎn)出更低。. 如果樣品沒有放在真空環(huán)境下，則鍍膜表面易氧化. 可用于特殊的EDS工作. |
Chromium鉻 | 非常細的濺射顆粒，適合于 FESEM. 為避免氧化，需用于208HR一樣的高真空鍍膜儀。鍍膜后的樣品只能存放在高真空環(huán)境中. 濺射離子直線下落。適合生物樣品的BE成像，濺射產(chǎn)率低。 |
Iridium銥 | 非常細的濺射顆粒，適合于 FESEM，需用于208HR一樣的高真空鍍膜儀，濺射產(chǎn)率低。 |
Tungsten鎢 | 可替代Cr.顆粒非常細，但氧化非常快，濺射產(chǎn)率低。 |
Nickel鎳 | 可作為特殊的EDS應用, 不適合SE成像.適合BE成像，濺射產(chǎn)率低，鍍膜易氧化。 |
Copper銅 | 適用于EDS. 適合中/低放大倍數(shù)場合，BE成像. |
Note 1:鋁的濺射產(chǎn)率非常低，對于SEM離子濺射不適用，且氧化非常快。 | |
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