紫外臭氧清洗機具有干洗處理、無需真空處理、無破壞燈特長，紫外線燈和照射裝置的高輸出照射技術，實現了以往用溶劑或超聲波清洗液難以達到的高品質、高速處理效果。為客戶能制造出更高品質的產品而提供紫外線清洗和紫外線改質。
紫外臭氧清洗機的靈活性，能滿足有機分子去除和其他眾多領域的應用。可以直接在空氣中操作，也可通過兩個標準氣路中的一個接入氧氣，從而增加臭氧產量。PSD Pro系列紫外臭氧清洗機通過可編程數字控制器控制系統工作進程，來確保清洗時間和各項參數的準確性。是一種簡單，經濟，快速的材料表面清洗設備，只需把樣品放置到樣品盤上，關上艙門，設置時間，并按運行，就可以了，能快速去除大多數無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機污染物。特別是當基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時，紫外清洗非常理想。
紫外臭氧清洗機產品特點：
1.UVO基礎型采用可編程數字控制器，設置操作簡單方便，四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設置顯示計時時間及加熱溫度。
2.自動補償功能，自動恒定光強光密度，不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。
3.數字倒計時顯示清洗時間，1-999分鐘之間可自行設置清洗時間。
4.可隨時手動中斷處理過程。
5.自動記錄之前清洗參數設置。
6.樣品臺可控溫（可選），控溫范圍RT-260℃，控溫精度0.1℃。
7.頂置下壓式鉸鏈開關蓋方式，操作簡單方便。
8.上置式樣品臺設計，360度自由放置樣品，操作方便。
9.樣品臺高度可調，通過調節燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。
10.UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為8000小時。
11.高強度UV燈源，波長185nm和254nm。
12.UV反射罩（長x寬）比UV格柵燈大2.5cm，比如規格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。
13.雙重安全保護，當清洗腔打開時，系統安全鎖會關掉UV燈，并有燈光通斷提示。
14.帶進&出氣口雙氣路設計，可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產量。
15.UVO5可選外置臭氧中和器，UVO9、UVO12系列可選外置或者內置臭氧中和器，用于臭氧清除。
16.可根據客戶要求定制鋁或石英材料真空反應腔。
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