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D07-7B型 質量流量控制器
技術參數：
| 滿量程流量范圍（N2） | 5SCCM～10SLM |
| 控制范圍 | 2～F.S. |
| 閥類型（及閥初始狀態） | 電磁調節閥（常閉） |
| 準確度 | ±1.5％F.S. |
| 線性 | ±0.5～1.5％F.S. |
| 重復精度 | ±0.2％F.S. |
| 響應時間 | ≤7sec |
| 工作溫度范圍 | 5～45℃ |
| 工作壓差 | 0.1～0.5MPa |
| 耐壓 | 3MPa |
| 漏氣率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
| 密封材料 | 氟橡膠（或氯丁橡膠） |
| 電插頭形式 | DB15 pin（Female） |
| 接頭選擇 | VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose |
| 重量 | 1.1Kg |
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