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日本電測(cè)EX-731型熒光X-Ray鍍層測(cè)厚儀
単層膜厚測(cè)定
2層膜厚測(cè)定
3層膜厚測(cè)定
合金膜厚成分比同時(shí)測(cè)定
無電解膜厚測(cè)定
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
日本電測(cè)EX-731型熒光X-Ray鍍層測(cè)厚儀
規(guī)格參數(shù)：
測(cè)量臺(tái)操作方式 | 手動(dòng) | 自動(dòng) | ||
測(cè)量行程 | 單位(mm) | 170 × 110 | 300 × 280 | |
移動(dòng)量 | X(mm) | 70 | 80 | |
Y(mm) | 70 | 60 | ||
Z(mm) | 80（測(cè)定物高zui大150） | 50 | ||
測(cè)定物高（zui大） | 80（150可選） | 50 | ||
外形(mm) | 600(W)×465(D)×730(H) | |||
重量(kg) | 79 | 85 | ||
測(cè)量臺(tái)載重(kg) | 3 | 1 | ||
電源 | AC200V±10V | |||
X線源 | 油浸式小型微焦點(diǎn)Ｘ線管 |
照射方式 | 上面垂直照射方式 |
検出器 | 比例計(jì)數(shù)管 |
準(zhǔn)直孔 | 5種類(自動(dòng)切換式) |
樣品觀察 | CCD鏡頭 |
測(cè)定対象 | 原子番號(hào)22(Ti)～82(Pb) |
濾波器 | (Co、Ni)自動(dòng)切換 |
厚度測(cè)定范圍 | 原子番號(hào)22～24：0.2～約20μm |
検量線 | 検量線自動(dòng)作成 |
測(cè)量功能 | 単層膜厚測(cè)定 |
測(cè)量模式 | 自動(dòng)測(cè)量 |
自動(dòng)測(cè)量臺(tái)功能 | 測(cè)定位置(X-Y-Z) 測(cè)定位置確認(rèn)功能 |
數(shù)據(jù)処理機(jī)能 | 統(tǒng)計(jì)量表示：平均、標(biāo)準(zhǔn)偏差、zui大、zui小、方差、Cp、Cpk |
可測(cè)量厚度元素種類： |
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