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芯片“智造”，“晶”益求精
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隨著下游半導體，顯示面板、光伏產業的技術快速進步及規模提高，對于上游濕電子化學品的產品純度和品質要求也日益增高。同時對于濕電子化學品生產相配套的分析檢驗技術、環境處理與監測技術也提出了高精度、快速、自動化智能化的更高需求。
應對這些新需求，梅特勒托利多作為行業優秀的精密儀器及衡器制造商與服務提供商，為半導體行業帶來了多種解決方案。
1、超純水分析
為了更精準的測量介質中的電阻率，自1964年以來，梅特勒托利多Thornton就開發了同軸設計的電阻率探頭來讓整個測量系統更加穩定。
圖1：1985 年Thornton開發出第一臺
用于半導體應用電阻率測量的數字變送器DOT2
隨著電子技術的不斷發展，在1989年，與 770PC 變送器一起開發的“智能傳感器”?？梢韵蜃兯推魈峁┬屎蜏y量數據，通過自動電子識別“握手”改變“傳感器”，實現快速“即插即測”啟動，是梅特勒托利多的數字智能傳感器管理 (ISM®) 技術的雛形。
圖2：使用超過20年，現在還在正常工作的770PC
而現如今，2023年，Thornton憑借在超純水分析領域深厚的技術積累和行業供應商合作努力下，將抗干擾的智能芯片集成在了全新的UPW Unicond 電阻率探頭中，從而進一步把電阻率的測量精度提升至±0.5%。
圖3：UPW Unicond電極中的智能芯片
智能測量系統相比模擬測量系統，提升10倍抗外界電磁干擾能力。這些突破離不開半導體行業的進步，讓更高精度和穩定性的測量成為了可能。
同時，更高準確度的電阻率控制，又可以保障生產更高端芯片的愈加純凈的UPW水質。這無疑是印證了一句老話，工欲善其事必先利其器。
圖4：全新的UPW Unicond電阻率電極
2、數字稱重技術解決方案
PBK高精度工業天平解決方案
從微量到重載，PBK工業型高精度天平不僅帶來精確的稱重性能，而且量程范圍的選擇更寬，從0.6kg 一直到3000kg，都可以帶來 30,000e的準確度選擇（其中0.6kg可以選擇60,000e）。因此，它能幫助您更好地控制產品質量，進一步提高生產效率，還能確保企業經營的合規性。比如濕電子化學品在生產和使用過程中化學品配料和稀釋場合，經常需要準確地進行各種物料的配比，尤其是微量物料的添加，借助高精度天平可以確保生產質量。（量程 600~3000kg的高精度天平經常在這個場合下使用）。
高精度系列數字式電子汽車衡解決方案
產品選用高精度C6/C10數字式稱重傳感器和智能稱重儀表IND880，滿足高端用戶實現高精度稱重和穩定可靠使用的需要。系統計量性能優秀，長期穩定性好，環境適應性強，安裝調試方便。特別適用于電子化學品等高價值物料稱重的行業。因為采用數字技術，數字式電子汽車衡能對溫度、非線性、滯后和蠕變性能等進行自動數字化補償，實現優秀的計量性能。配套梅特勒托利多新推出的工業級高端智能稱重儀表IND880，友好的人機交互，可集成稱重管理軟件實現儀表、電腦一體化方案。
數字模塊解決方案
得益于POWERCELL PDX數字補償技術，梅特勒托利多數字模塊可獲得比C3更高精度要求的C6甚至C10精度，從而滿足電子化學品等精度要求較高的行業使用。POWERCELL PDX數字傳感器自帶智能預診斷功能，可通過儀表實時讀取傳感器的各項工作參數，例如：溫度、電壓、超載等，從而實時了解稱重系統是否健康工作。
數字平臺秤PowerDeck™ PFD7系列解決方案
PowerDeck™ PFD7系列平臺秤，結合了先進的POWERCELL® 數字科技，創新設計的全密封秤臺和圖形化的智能APP，始終讓稱重保持較好的性能，最大限度地提高您的生產率和產量。全新的10,000e檢定分度，自我監控的智能傳感器檢測和補償精度偏差，確保精準。更緊的允許誤差減少了生產浪費并提高您的利潤率。PowerDeck™ 的監測功能，實時提醒和用戶指導功能能夠幫助免除這些影響，保證了精確的計量結果，減少調整的次數，在重新全面維護之前促進了計量性能的長期穩定。
3、電子化學品濃度檢測及熱分析測試
濕電子化學品是在半導體制程工藝中使用非常廣泛，其質量的控制對于芯片制造過程有著重要的影響，因此無論是上游的濕電子化學品生產商，還是Fab廠，對于化學品的各項檢測都至關重要。
濕電子化學品的基本要求是超純超凈，對于雜質的要求嚴格到ppt級別，但另一方面由于不同工藝流程使用化學品種類的不同，會對同類化學品稀釋得到不同濃度的藥液，或者不同種類的化學品混配，以滿足特定工藝段的應用需求。因此無論是在電子化學品的生產端和使用端，都涉及到對于化學品實際濃度的直接測定，確保使用的化學品濃度符合工藝段的需求，以避免影響生產。
梅特勒托利多自動電位滴定儀不僅能夠快速準確的針對電子化學品濃度進行測定，同時其輔助的功能也能夠更好地從細節上便于客戶使用，如24位自動進樣器提供自動化解決方案節省操作時間，Cover up自動揭蓋及溶劑管理器功能實現對于實驗人員健康的保護等等。
自動電位滴定儀
微量天平
另一方面，對于分立器件等廠商而言，由于生產工藝的不同，對于檢測方面的需求也大不相同。比如對于MLCC（多層陶瓷電容器），其原料主要成分是鈦酸鋇和粘合劑，通過流延、印刷、疊層、層壓、切割、燒結、退火、封端等工藝制備得到最終的陶瓷電容器。采用梅特勒托利多的TMA可以分析燒結溫度和燒結前后電容器的收縮率，而且儀器獨有的SDTA信號可以輔助判斷尺寸變化時樣品是否有相變過程，通過監測燒結過程中的熱效應，實現對配方的優化和工藝的調整。
比如圖一為模擬陶瓷生坯的燒結過程，測試其燒結溫度和燒結過程中的收縮率，圖二為SDTA信號在陶瓷坯燒結過程中對相變和分解過程的判斷。
針對陶瓷漿料的固含量測定，梅特勒托利多快速水分測定儀能夠提供快速準確的監測方案，5-10分鐘快速響應結果，自動化分析和數據采集，及時為生產工藝提供反饋；同時稱量單元校準和加熱單元溫度校準部件也能夠確保測定的結果準確可靠。
圖一 TMA研究陶瓷生坯燒結溫度和收縮率
圖二TMA的SDTA信號在陶瓷坯燒結過程中
對相變和分解過程的判斷
熱機械分析儀
快速水分測定儀
4、液體灌裝解決方案
提供結合潔凈技術的高精度定量灌裝方案，配備自動化灌裝工藝流程，保障精益生產。
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設備結構針對濕電子化學品高純特性進行了全新設計，避免機械摩擦帶來的顆粒污染，搭配潔凈室方案，全方位控制成品質量。
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在灌裝過程中過流件全PFA材質，配合高度的自動化水平，減少人工干預，節約人力成本，保證過程的可重復性，工作過程可視化全透明，杜絕成品包裝過程中的污染。
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超凈高純物料灌裝工藝控制過程特殊，流體截止控制和防滴漏模塊尤為重要，我們提供完備的接液系統和大小閥門雙管路高精度控制，保證灌裝車間的潔凈環境和成品精度，防止液體過量灌入帶來的泄漏污染和成本損失。
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YCS系列半自動灌裝秤
GZX系列小桶全自動液體灌裝秤