ALICAT 高壓氣體質量流量控制器 21Q系列產品特色

●  多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSERTM氣體編輯器確定自己的氣體組成。

●  連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。

●  耐用。21Q系列高壓氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓介質暫時流動。為保證對環境影響的耐受性，我們可以為您的質量流量控制器構建IP66等級防護。

精度升級

量程為10 SCCM - 3000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：

質量流量普通精度         ± 0.6%讀數 或± 0.1%滿量程（取最大值）

測量和控制范圍             0.1 ~ 100%滿量程

重復性                          ± 0.1%滿量程

技術指標

介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了98種氣體，請參考氣體兼容表

                   一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程     從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM

量程可控比（穩態）    0.5% ~ 100%滿量程

最大顯示流量    高達128%滿量程（取決于氣體）

最大可控流量    102.4%滿量程

顯  示  屏    帶背光按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度

精       度    ± 2%滿量程    精度升級見左下角

重  復 性    ± 0.2%滿量程

質量流量零點漂移    ± 0.01%滿量程/ ℃（從25℃開始） 

                                 ± 0.01%滿量程/ Atm（從校準壓力開始）

質量流量量程漂移    ± 0.01%讀 數/ ℃（從25℃開始） 

                                 ± 0.1 %讀 數/ Atm（從校準壓力開始）

控制響應時間（T63）    優于100 ms（與流量相關，用戶可調）

顯示響應時間    ＜10 ms（與流量相關）             

預熱時間    ＜1s

默認標況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ~ 95%

最大工作壓力    320 PSI 絕壓

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40Hz@19200波特率；模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸入/輸出信號    RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、                                 

                   EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

供電電壓     12 - 24 VDC 

供電電流    0.250 -1A（+40 mA，對于4-20 mA輸出）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN、8-pin M12等

泄漏率（外漏）    選擇HLCP選項，泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He 

材       質    302，303，304,316L，430,410不銹鋼、FKM氟橡膠、陶瓷、

                   硅橡膠、聚酰胺、環氧樹脂、金、銅、硅、玻璃。

過程連接    詳情參考壓損表

安裝位置    小閥門無要求，R閥門需閥體垂直向上安裝

防護等級    IP40

認    證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

選項配件

（需另行訂購）

●  過程端口接頭和過濾器

●  電源

●  通訊線纜和轉換線纜

●  BB3和BB9多點式集線盒

●  Flow Vision軟件

包裝清單

●  MCQ系列高壓氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）

●  NIST可溯源校準證書

●  艾里卡特操作說明書