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ASI公司小型電動載物臺MS-2000 XYZ 電動載物臺
主要特點： 1、閉環DC伺服電動機 XYZ載物臺保證精準定位和高的聚焦重復性 2、XY操縱桿廣泛的動態速度范圍 3、利用ASI's Z-軸驅動 4、Z-軸離合器方便轉換手動電動聚焦控制 5、LCD顯示XYZ的配合 6、"Zero" 和 "Home" 按鈕方便獨立操作 7、控制范圍
技術指標：
| XY移動范圍 | Upright: 100 mm x 100 mm |
| Inverted: 114 mm x 90 mm | |
| XY 軸分辨率 | 0.088 µm |
| XY 軸RMS可重復性 | < 0.8 µm （typical） |
| XY 軸zui大速率 | 7 mm/sec |
| Z 軸分辨率 | 0.05 µm |
| Z 軸可重復性 | ± 0.1 µm （typical） |
| Z 軸zui大速率 | 0.6 mm/sec |
MS-2000 Options
可選螺桿
| Lead Screw Pitch Options | Rotary Encoder Resolution | Maximum Speed |
| 12.70 mm （Super-coarse） | 176 nm | 14 mm/sec |
| 6.35 mm （Standard） | 88 nm | 7 mm/sec |
| 1.57 mm （Fine） | 22 nm | 1.75 mm/sec |
| 0.318 mm （Ultra-fine） | 4.4 nm | 0.35 mm/sec |
可選的線性編碼器
| Axis | Scale Resolution | Scale Accuracy |
| XY | 20 nm | 0.5 µm per 10 mm |
| Z （12 mm and 25 mm stroke） | 50 nm | 0.03 µm per mm |
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