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超音波清洗的機制是來自于清洗劑的化學作用與空穴效應的物理作用,兩者缺一不可,故若僅使用清水無法達到洗凈的目的,清洗劑主要成分為界面活性劑及潤濕物質,用以打斷清洗物與污染物如油污等之間的連結鍵,加上空穴效應產生的剝離力量,很容易就將污染物從被洗物表面情除,達到清洗目的。