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Rigaku ZSX Primus III +以很少的標準在各種樣品類型中快速定量測定從氧氣（O）到鈾（U）的主要和次要原子元素。
ZSX Primus III +具有創新的光學上述配置。由于樣品室的維護，再也不用擔心被污染的光束路徑或停機時間。光學元件以上的幾何結構消除了清潔問題并延長了使用時間。
樣品的高精度定位確保樣品表面與X射線管之間的距離保持恒定。這對于要求高精度的應用很重要，例如合金分析。ZSX Primus III +采用的光學配置進行高精度分析，旨在限度地減少樣品中非平坦表面引起的誤差，如熔融珠和壓制顆粒
EZ掃描允許用戶在未事先設置的情況下分析未知樣品。節省時間功能只需點擊幾下鼠標并輸入樣品名稱。結合SQX基本參數軟件，它可以提供最準確，最快速的XRF結果。SQX能夠自動校正所有的矩陣效應，包括線重疊。SQX還可以校正光電子（光和超輕元素），不同氣氛，雜質和不同樣品尺寸的二次激發效應。使用匹配庫和的掃描分析程序可以提高準確度。
元素從O到U的分析
管道上方的光學器件使污染問題最小化
占地面積小，使用的實驗室空間有限
高精度樣品定位
特殊光學元件可減少曲面樣品表面造成的誤差
統計過程控制軟件工具（SPC）
吞吐量可以優化疏散和真空泄漏率
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