設備介紹
標準低溫泵 [16型]
CRYO-U16P
特點
日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U16維修?
- 適用于中、大型生產裝置。
- CRYO-U16的高負荷型。
外形尺寸 (單位:mm)
標準規格
日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U16維修?
| 排氣速度(20℃) | 氮氣 | L/s | 5,000 |
| 氫氣 | 10,000 | ||
| 氬氣 | 4,200 | ||
| 水 | 16,000 | ||
| 到達壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.6×103(12) |
| 氫氣 | 4.5×102(3.4) | ||
| 排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 4.3×108(3.3×106) |
| 氫氣 | 2.4×106(1.8×104) | ||
| 冷卻降下時間 (電力循環) | min(Hz) | 120/110(50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | UVG-400 | ||
| 壓縮機裝置 | C30VR | ||
| 質量 | Kg | 61.0 | |
*維護間隔：16,000小時
*可移動基座是選購件
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