依靠F50的光譜測量系統，可以很簡單快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標移動平臺，可以非常快速的定位所需測試的點并測試厚度，測試非常快速，大約每秒能測試兩點。用戶可以自己繪制需要的點位地圖。F50系統配置高精度使用壽命長的移動平臺，確保能夠做成千上萬次測量。

產品名稱： F50薄膜厚度測量儀

品牌： Filmetrics

產品型號： F50

產地： 美國

自動化薄膜厚度繪圖系統

依靠F50薄膜厚度測量儀的光譜測量系統，可以很簡單快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標移動平臺，可以非常快速的定位所需測試的點并測試厚度，測試非常快速，大約每秒能測試兩點。用戶可以自己繪制需要的點位地圖。F50系統配置高精度使用壽命長的移動平臺，確保能夠做成千上萬次測量。

系統中預設了許多極坐標形、方形和線性的圖形模式，也可以編 輯自己需要的測試點。只需掌握基本電腦技術便可在幾分鐘內建立自己需要的圖形模式。

可測樣品膜層

基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測量。可測樣品包括：

量測原理

當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射，由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產生震蕩的現象。從光譜的震蕩頻率,我們可以判斷我們可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度（愈多的震蕩代表較大的厚度）。而其他的材料特性如折射率與粗糙度也能同時測量。

FILMeasure軟件提供兩種分析模式：

Sepectru-Matching與FFT。在Spectrum-Matching模式中，您可以分析厚度與折射率。反正，FTT模式雖然只能測量厚度，但在較厚的薄膜厚度測量，FFT的分析能力更為健全。

FILMapper軟件-自動測量

測繪圖案繪制

用戶能隨心所欲的繪制所需的圖案，操作功能方便省時

測繪圖案參數：

•圓形/方形

•放射狀

•中心或邊緣排除

•點位密度

2D和3D的測繪

不論是反射率，厚度還是折射率的測量，都可以用2D或3D呈現。測繪結果能依不同的需要做調整，參數設定簡單容易。測繪圖能從不同的角度檢視。