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產品描述
SEM納米探針臺產品實現了三維空間上的準確定位， 它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡單，能在真空下使用等優點，可應于SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作。
SEM納米探針臺產品使用壓電陶瓷驅動，運無需潤滑，百分真空兼容，并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。
三軸探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一SEM腔體內可安裝多個三軸探針臺。平上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現微納操縱和測量的目的。
▲ 兼容性：適配多種鎢燈絲、場發射SEM，保證電鏡安全性
▲ 探針驅動方式：PZT壓電陶瓷
▲ XYZ行程：XY軸行程≥±10mm，Z軸行程≥10mm
▲ 細調行程：3um
▲ 細調最小步長：≤1nm
▲ 控制模式：開環/閉環
▲ 探針數量：最多支持8探針
▲ 制冷系統（選配功能）：熱臺200℃；冷臺-60℃（TEC）；冷臺-170℃（液氮）
• 主要配置
壓電探針臺、壓電三軸位移控制器、PC+軟件（閉環選配）、壓電冷臺（選配）、手提箱、源表（選配）、制冷系統（選配）、定制適配電鏡法蘭、工具附件等
▲ 結構緊湊，高剛性
▲ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統
▲ 壓電陶瓷位移平臺具有超長使用壽命
▲ 內部根據需求可增加位置反饋
▲ 應用：納米材料操縱、納米器件電學光電等物性測量、生物細胞DNA操作等
▲ 適配SEM：日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等
電容樣品測試
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碳纖維測試
器件測試
薄層材料測試
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