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貨物所在地：北京北京市
更新時(shí)間：2024-05-14 09:39:24
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產(chǎn)品描述
國(guó)產(chǎn)手動(dòng)臺(tái)階儀JS10B，擁有高精度、高分解能力，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測(cè)量。JS10B提供一個(gè)彩色攝像頭對(duì)樣品和針尖同時(shí)成像，可無(wú)畸變的觀察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域，同時(shí)探針掃描時(shí)可實(shí)時(shí)觀察掃描區(qū)域。
手動(dòng)臺(tái)階儀 JS10B關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)
裝載晶圓尺寸：150mm\200mm\300mm
臺(tái)階高度重復(fù)性 ：≤0.5nm(1um標(biāo)準(zhǔn)塊重復(fù)掃描30次)
臺(tái)階測(cè)量高度：≤80um
樣品平臺(tái)行程：可實(shí)現(xiàn)水平(X/Y)，旋轉(zhuǎn)(RZ)電動(dòng)控制
單次掃描距離：≤55mm
探針壓力：0.5~50mg
探針直徑：≥2um 探針1個(gè)，≤1um 探針1個(gè)
• JS10B技術(shù)參數(shù)
• 配套軟件介紹
• 應(yīng)用案例
測(cè)金屬片
測(cè)電極
測(cè)光刻膠
測(cè)膜厚
測(cè)標(biāo)樣
測(cè)標(biāo)樣
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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