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詳細介紹
5XHRSEM提供了研究應(yīng)用的所有靈活性，以容納大樣本，如全晶片或冶金樣品，執(zhí)行快速分析由于其高電流模式或工作在精密原型應(yīng)用，如電子束誘導(dǎo)直接沉積材料或光刻。在半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲市場，Verios 5XHRSEM性能顯著擴展了SEM的能力，為基礎(chǔ)研究、工藝和材料開發(fā)、過程控制和失效分析提供了完整的解決方案。它提供了準(zhǔn)確的，可重復(fù)的測量結(jié)果，即使在敏感的材料。5XHRSEM的特點是行業(yè)性能，而不影響高吞吐量、樣品靈活性和傳統(tǒng)SEM的易用性。
產(chǎn)品特點
? 使用UC +的納米材料圖像分辨率，這是一種單色電子源，可實現(xiàn)1-30 kV的亞納米性能。
? 敏感材料上的對比度，具有低至20 eV著陸能量的出色性能，高靈敏度的柱內(nèi)和透鏡下方檢測器以及用于低劑量操作和對比度選擇的信號過濾。
? 使用具有SmartAlign和FLASH技術(shù)的同類Elstar電子色譜柱，為任何經(jīng)驗水平的用戶提供短的納米級信息。
? 使用ConstantPower鏡頭，靜電掃描和兩個壓電位移臺的選擇，可獲得一致的測量結(jié)果。
? 大腔室附件的靈活性。
? 使用AutoScript 4軟件（基于Python的可選應(yīng)用程序編程接口）進行無人值守的SEM操作。
參數(shù)
電子光學(xué)系統(tǒng)
? 二次電子分辨率：優(yōu)于0.6 nm (2kV – 15kV范圍內(nèi))；0.7 nm@1kV；1.0nm@0.5kV；1.2nm@0.2 kV (保證客戶現(xiàn)場驗收)
? 放大倍率：40 ～ 900,000倍
根據(jù)加速電壓和工作距離的改變，放大倍數(shù)自動校準(zhǔn)
? 加速電壓：0.05 ～ 30 kV，著陸電壓：0.02 ～ 30kV
? 電子槍：帶電子束單色器技術(shù)的超高亮肖特基場發(fā)射電子槍
? 電子束流：0.8pA ～ 100 nA，連續(xù)可調(diào)
? 60°錐度物鏡幾何設(shè)計，恒功率雙物鏡系統(tǒng)（電磁透鏡和靜電透鏡）
? 自動式物鏡光闌：物鏡光欄應(yīng)能自加熱自清潔；無需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌，15孔可調(diào)光闌
樣品室
? 樣品室：可容納樣品直徑100 mm, 21個附件接口
? 可安裝冷凍樣品臺附件
? 樣品臺：五軸馬達驅(qū)動超高精度樣品臺，移動范圍指標(biāo)：
-X/Y≧100 mm, Z ³ 20mm,
-X/Y重復(fù)精度：0.5μm，連續(xù)旋轉(zhuǎn)：R=720° 傾斜角
T：范圍不小于-10º～+60º
? 配置電子束減速模式，-50V至-4KV
? 探測器：
? Through-lens SE detector (TLD-SE) (透鏡內(nèi)二次電子探測器)
? Through-lens BSE detector (TLD-BSE) (透鏡內(nèi)背散射電子探測器)
? Elstar in-column SE detector (ICD) (鏡筒內(nèi)二次電子檢測器)
? Elstar in-column BSE detector (MD) (鏡筒內(nèi)背散射電子探測器)
? Everhart-Thornley SED (樣品室E-T二次電子探頭)
? Retractable DBS Detector (可拔插式定向背散射探頭)
? Retractable STEM 3+ Detector (可伸縮掃描透射探頭)
? 電子束流：電子束流測量
? 樣品室紅外CCD相機
? 樣品室導(dǎo)航光學(xué)探測器
清潔度控制
? 配置等離子體清洗器，與電鏡軟件一體化控制，保證無縫式售后
? 冷阱
真空系統(tǒng)
? 無油真空系統(tǒng)
? 由一個210L/S前級機械泵，一個渦輪分子泵和兩個離子泵組成
? 樣品室真空度：優(yōu)于2.6×10-6 mBar(24小時抽吸之后)
數(shù)字圖像處理、記錄系統(tǒng)
| 產(chǎn)品料號 | 產(chǎn)品貨號 | *產(chǎn)品名稱 | *產(chǎn)品規(guī)格 |
| TFE000053 | TFE000053 | Verios™5 XHR掃描電鏡 | Verios™5 XHR |
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