靜電式末級透鏡（Apreo C 和 Apreo S）能夠實現鏡筒內多種信號的同時探測和高分辨率，而 Apreo S 則結合靜電、浸沒式磁場的復合透鏡以進一步提高低電壓下的分辨率，在 1 kV加速電壓下的分辨率為 1.0 nm，不需要電子束減速。通過將浸沒式磁透鏡和靜電透鏡組合還可以實現*的信號過濾功能。擁有透鏡內背散射探測器 T1，其位置緊靠樣品，確保在較短的時間內獲得大量的采集信號。與其他背散射探測器不同，這種快速的探測器在導航時、傾斜時或工作距離很短時能夠始終保持良好的材料襯度。在表征敏感樣品時，探測器的*性能尤為突出，即使電流低至幾 pA，它也能提供清晰的背散射圖像。Apreo S復合末級透鏡通過能量過濾實現高質量的材料襯度以及絕緣樣品的無電荷成像，進一步提高了 T1 BSE 探測器的使用價值。Apreo 還提供了受歡迎的選配探頭來補充其探測能力，例如定向背散射探測器(DBS)、STEM 3+ 和低真空氣體分析探測器(GAD)。所有這些探測器都擁有的軟件控制分割功能，以便根據需求選擇價值的樣品信息。

產品特點

• 全面實現納米或亞納米分辨性能，從納米顆粒，粉末，催化劑和納米器件到塊狀磁性樣品等材料。

• 的背散射電子探測始終可保證良好的材料襯度，即使是以低電壓和小束流并以任何傾斜角度對電子束敏感樣品進行 TV速率成像是也不例外。

• 無比靈活的探測器 可將各個探測器分割提供的信息相結合，讓用戶能夠獲得至關重要的對比或信號強度。

• 各種各樣的荷電緩解策略 ，包括樣品倉壓力為 500 Pa的低真空模式，可實現任何樣品的成像。

• 分析平臺提供高電子束電流，而且束斑很小。倉室支持三個EDS 探測器、共面的 EDS 和 EBSD 以及針對分析而優化的低真空系統。

• 樣品處理和導航極容易，具有多用途樣品支架和Nav-Cam+。

• 通過高級用戶指導、預設和撤消功能為新用戶提供專家級結果。

參數

電子束

• 電子束電流范圍: 1 pA–400 nA

• 加速電壓: 200 V–30 kV

• 著陸能量范圍: 20 eV–30 keV

• 大水平視場寬:10 mm工作距離下為3.0 mm（對應于小放大倍率 x29）

• 10mm分析工作距離 1kV 時電子束分辨率: 1nm

倉室

• 內寬: 340 mm

• 分析工作距離: 10 mm

• 12個端口

• EDS 出射角度為35°

• 可同時安裝三個EDS 探測器, 兩個處于180°

• 共面的 EDS/EBSD 與樣品臺的傾斜軸垂直。

探測器

Apreo 通過可用探測器或探測器的分割部分的任意組合，多可同時探 測四個信號：

• Trinity 探測系統 (透鏡內和鏡筒內)

 – T1 分割式透鏡內低位探測器

 – T2 透鏡內高位探測器

 – T3 鏡筒內探測器*

• ETD – Everhart-Thornley SE 探測器

• DBS – 可伸縮分割式透鏡下 BSED*

• 低真空 SE 探測器*

• DBS-GAD – 安裝在透鏡上的氣體分析 BSED

• STEM 3+ – 可伸縮分割式探測器（BF、DF、HADF、HAADF)*

• IR-CCD

• Nav-Cam+ ™ –安裝在倉室內的樣品導航攝像頭

真空系統

• *無油的真空系統

• 1 × 220 l/s TMP

• 1 × PVP-渦旋泵

• 2 × IGP

• 倉室真空（高真空）< 6.3 × 10-6 mbar（72 小時抽氣后）

• 抽氣時間：≤ 3.5 分鐘

• 可選的低真空模式

• 倉室壓力為 10 到 500 Pa