Thermo Scientific ™ Prisma ™ E SEM 結(jié)合了全面的成像性能和*的環(huán)境模式，同時(shí)兼容廣泛的硬件和軟件選型，可滿足多用戶實(shí)驗(yàn)室的綜合應(yīng)用需求。Prisma E SEM 的三種真空模式（高真空、低真空和 ESEM™）使得系統(tǒng)靈活性，可以容納任何 SEM 可用的泛的樣品類型，包括放氣的、未鍍導(dǎo)電膜的或者是與真空狀態(tài)不相容的樣品。

多種檢測(cè)器選項(xiàng)（定向背散射探測(cè)器、STEM、陰極熒光探測(cè)器等）提供了所有必要的樣品信息。探測(cè)器信號(hào)同步采集和顯示，可以在短的時(shí)間內(nèi)提供答案。此外，ESEM可以在現(xiàn)實(shí)條件下對(duì)樣品進(jìn)行原位研究，例如在濕潤(rùn)、高溫、潮濕或反應(yīng)性環(huán)境中的樣品觀察。 Prisma E SEM 還包括一系列軟件集成的原位實(shí)驗(yàn)臺(tái)，用于執(zhí)行和控制動(dòng)態(tài)實(shí)驗(yàn)。分析樣品倉(cāng)可以滿足日益增長(zhǎng)的樣品元素信息及晶體結(jié) 構(gòu)分析需求，它同時(shí)支持相對(duì)的雙能譜（EDS）探測(cè)器、共面能 譜（EDS） /電子背散射衍射（EBSD）和平行束波譜（WDS） 探測(cè)器。支持掃描預(yù)設(shè)、便捷的相機(jī)導(dǎo)航和Thermo ScientificSmartSCAN™，更進(jìn)一步提升了生產(chǎn)力、數(shù)據(jù)質(zhì)量和易用性。對(duì)于日常工作，Prisma E SEM可以使用強(qiáng)大的基于Python的腳本工具Autoscript自動(dòng)執(zhí)行。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 在自然狀態(tài)下對(duì)材料進(jìn)行原位研究：在各種操作模式下分析導(dǎo)電和不導(dǎo)電樣品， 同步獲取二次電子像和背散射電子像。

• 縮短樣品制備時(shí)間：低真空和環(huán)境真空技術(shù)可針對(duì)不導(dǎo)電和/或含水樣品直接成像和分析，樣品表面無(wú)荷電累積。

• 觀察所有樣品獲取全面的信息，在每種操作模式下均可同時(shí)進(jìn)行SE和BSE成像。

• 原位分析配置專門的原位實(shí)驗(yàn)臺(tái)，溫度范圍從-165℃到1400℃。

• 分析功能：大樣品倉(cāng)可安裝3個(gè)EDS 探測(cè)器、WDS和共面EDS/EBSD，其中兩個(gè)EDS端口為180°正對(duì)。

• 不導(dǎo)電樣品分析功能：借助多級(jí)穿過(guò)透鏡的真空系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)低真空下的高質(zhì)量EDS 和 EBSD 分析。

• 高精度優(yōu)中心樣品臺(tái)，105°傾斜角度范圍，觀察樣品。

• 軟件直觀、簡(jiǎn)便易用，配置用戶向?qū)Ъ?nbsp;Undo（撤銷）功能，新手用戶可進(jìn)行高效操作，專家用戶也可進(jìn)行更少的操作，完成快速分析。

• 廣泛的配置選項(xiàng)，包括可伸縮的RGB CL陰極熒光探測(cè)器、1100℃ 高真空熱臺(tái)、μHeater 和Autoscript（基于Python的腳本工具API）。

 

參數(shù)

電子束

• 高真空成像

- 30 keV下 3.0 nm （SE）

- 30 keV下 4.0 nm（BSE）*

- 3 keV下 8.0 nm （SE）

• 高真空下，電子束減速模式

- 3 keV下7.0 nm （電子束減速模式* + DBS*）

• 低真空成像

- 30 keV下 3.0 nm （SE）

- 30 keV下 4.0 nm（BSE）

- 3 keV下 10.0 nm （SE）

• ESEM

- 30 keV下 3.0 nm （SE）

• 電子束流范圍：大 2 μA，連續(xù)可調(diào)

• 加速電壓范圍：200 V - 30 kV

• 放大倍數(shù) ：6 – 1,000,000 倍

樣品倉(cāng)

• 內(nèi)寬：340 mm

• 分析工作距離：10 mm

• 端口：12

• EDS 出射角：35°

• 可同時(shí)安裝三個(gè) EDS 探測(cè)器，其中兩個(gè)處于180°

• 共面 EDS/EBSD ，與樣品臺(tái)傾斜軸垂直設(shè)定了預(yù)配置方法包括自定義方法和數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能的用戶友好軟件

• 通用 9 針電氣接口

真空系統(tǒng)

• 1個(gè)250 升/秒渦輪分子泵（TMP）

• “穿過(guò)透鏡”的壓差真空系統(tǒng)

• 電子束在氣體區(qū)域的行程（BGPL）：10 mm 或 2 mm

• 典型換樣時(shí)間：高真空模式 ≤ 3.5 分鐘；環(huán)境真空模式≤4.5 分鐘

• 可選 CryoCleaner 冷阱

• 可選升級(jí)成無(wú)油機(jī)械泵（PVP）

產(chǎn)品料號(hào)	產(chǎn)品貨號(hào)	*產(chǎn)品名稱	*產(chǎn)品規(guī)格
TFE000047	TFE000047	Prisma E 掃描電鏡	Prisma E