リオンは、zui小可測粒徑0.05μmの超純水プラント向け液中パーティクルカウンタ「KL-30B」を、6月1日から発売します。
電子デバイス製造工場の洗浄工程に超純水が使用されており、液中パーティクルカウンタは、この超純水中の微粒子の粒徑と個數濃度の清浄度管理に利用されています。
このたび開発した「KL-30B」は、粒子検出部、表示部、流體制御部を一體化させたオールインワンタイプです。超純水の製造ラインに直接接続し、清浄度を常時監視することができます。粒徑區分は、0.05μmから0.2μmの範囲で、zui大10段階を設定できます。

主な特長

• 粒子検出部、表示部、流體制御部、データ出力機能を一筐體に収め、使用場所での利便性を高めました。
• 超純水の供給ラインに直接接続し、清浄度の監視が可能です。
• zui小可測粒徑は0.05μm。粒徑區分は0.05μmから0.2μmの範囲で、zui大10段階を設定可能です。
• 偽計數を低減させる技術を新たに採用しました。（従來比約1/5）。
• 粒子検出部の外気環境粒子による汚染を防止するため、フィルタでろ過した清浄空気を送り込む裝置「パージエアユニット」を標準搭載しています。
• 試料圧力500kPa（ゲージ圧）と高圧にも対応しています。
• データ出力機能は、D/Aコンバータ（4～20mA）、プリンタ、コンパクトフラッシュカード（オプション）、シリアルインターフェースと複數ご用意しています。
• 粒子検出部の取り外しが簡便な構造にし、メンテナンス性が向上しています。

主な使用用途

主に電子デバイス製造工場の超純水プラントにて生産される超純水の粒子汚染の監視