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產品簡介
詳細介紹
KS-41A 理音RION液體粒子計數器
フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15μmから測定可能
- 多點監視システムに接続可能
| 光學系方式 | 側方散亂方式 |
|---|---|
| 光源 | 半導體レーザ（波長830nm、定格出力200mW） |
| 接液部材質 | 合成石英、PFA |
| 粒徑區分 | 0.15μm～0.5μmの範囲で10段階 出荷時：0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm以上の4段階 |
| 定格流量 | 10mL/min |
| zui大粒子個數濃度 | 1,200個/mL（計數損失5%以內） |
| 電源 | DC12V（KE-40B1より供給） |
| 大きさ | 約160（H）×300（W）×250（D）mm（突起物を除く） |
| 重さ | 約7.5kg |