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泵軸位置 | 邊立式 | 輸送介質 | 其他 |
---|---|---|---|
葉輪數目 | 多級 |
愛發科真空泵NRL180A特點:
低噪音、低振動、*的耐腐蝕性。
標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理,降低對府蝕性氣體排氣時泵
體內部的腐蝕程度。
隨泵配送選購件:
可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。
適用于行業:
活性氣體(CVD/刻蝕等)
排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)
用于產生粉塵工藝中的排氣(Si單品爐等)
作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵)
冷凍干燥等水蒸氣排氣。
愛發科NRL180A干式螺桿真空泵一般用于排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處
理、液晶注入等),排出非活性氣體行業對泵的腐蝕性很大,大多數真空泵都是因為腐
蝕后轉數慢,影響到生產效率,需要專業的廠家維修,東莞比其爾真空承接愛發科
NRL180A干式螺桿真空泵維修。
針對真空泵腐蝕的修復方法:
*清除表面氧化層,用丙酮將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護,專業
的安裝方式完工。
愛發科NRL系列在低溫領域下的均熱化,除PVD工藝外,龍其適用于希望提高流量,縮
短非氣時間的重要工藝腔體的排氣。
選擇比其爾的優勢---進口真空泵專業維修廠家:擁有10年以上各類進口真空泵維修經驗
及專業治具。*真空泵維修配件,提供6個月延長質保服務,終身技術支持。