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Takumi型號，具有精度的超高精度數控三坐標測量機
LEGEX系列是一款超高精度CNC 3D測量機，經過分析和消除誤差因素，擁有世界高級別的精度。
最大允許長度測量誤差：E0,MPE=(0.23+0.7L/1000)μm，與傳統方法相比增加26%，通過利用“Takumi Meister System"培育的超高精度研磨技術和精加工技術實現精度。
主體底座采用精心選材，采用密封結構，實現高剛性、高阻尼性能。此外，我們使用FEM結構分析模擬進行應力分析，以確保幾何運動精度，從而最大限度地減少由于負載波動而導致的變形。此外，我們還引進了驅動裝置的結構、振動對策等多項實現超高精度的技術。
用于位置檢測的長度測量單元配備了超高精度長度測量單元（內部制造），該單元結合了熱膨脹系數≒0的超高精度結晶玻璃標尺和高分辨率、高精度-高性能反射式線性編碼器，具有高的位置檢測能力，可實現超高精度的機器控制。
為了支持對各種工件進行簡單且超高精度的測量，我們提供了多種選件，包括探頭（接觸式和非接觸式）、數據處理設備和轉臺。
| 符號 | LEGEX574 | LEGEX774 | LEGEX776 | LEGEX9106 |
|---|---|---|---|---|
X軸測量范圍（mm） | 500 | 700 | 700 | 900 |
Y軸測量范圍（mm） | 700 | 700 | 700 | 1000 |
測量范圍Z軸（mm） | 450 | 450 | 600 | 600 |
驅動速度 CNC模式 最大組合速度（自動）（mm/s） | 200 | 200 | 200 | 200 |
驅動加速度（最大組合加速度）（mm/s2） | 980 | 980 | 980 | 980 |
最小顯示量(mm) | 0.00001 | 0.00001 | 0.00001 | 0.00001 |
引導方式（各軸） | 空氣軸承 | 空氣軸承 | 空氣軸承 | 空氣軸承 |
長度測量單位 | 線性編碼器 | 線性編碼器 | 線性編碼器 | 線性編碼器 |
測量物體大高度（mm） | 700 | 700 | 850 | 850 |
主機氣壓(MPa) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
本體耗氣量(L/min) | （標準條件下）120L/min（氣源時160L/min以下） | （標準條件下）120L/min（氣源時160L/min以下） | （標準條件下）120L/min（氣源時160L/min以下） | （標準條件下）120L/min（氣源時160L/min以下） |
測量臺材質 | 鑄鐵 | 鑄鐵 | 鑄鐵 | 鑄鐵 |
測量臺尺寸（安裝面）（mm） | 550x750 | 750×750 | 750×750 | 950x1050 |
測量對象最大裝載質量（kg） | 250 | 500 | 500 | 800 |
測量臺測量對象固定方式（mm） | M8x1.25 | M8x1.25 | M8x1.25 | M8x1.25 |
機身質量（含隔振臺及控制器）（kg） | 3500 | 5000 | 5100 | 6500 |
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