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通過同步 XY 主體驅動和閃光燈照明，可以在不停止載物臺的情況下執行不間斷圖像測量，并配備可大幅縮短測量時間的流功能。
這是一款配備非接觸式位移傳感器的復雜測量機，能夠利用掃描功能測量精細臺階和 3D 形狀。
采用雙針孔法作為位移傳感器的檢測方法。與刀口法和三角測量法相比，可以實現無方向性測量。
激光光斑直徑小至約2μm，可以測量微小的形狀。
配備頻閃照明，可以執行高通量測量，同時縮短載物臺穩定時間。
數字放大功能可進一步放大顯示。
| 符號 | QVH1-X302P1L-E | QVH1-X404P1L-E | QVH1-X606P1L-C |
|---|---|---|---|
代碼號 | 365-631-10 | 365-641-10 | 365-651-10 |
測量范圍(XxYxZ)(mm) | 300x200x200 | 400×400×250 | 600×650×250 |
位移傳感器圖像 通用測量范圍 (XxYxZ)mm (HYBRID TYPE1) | 180x200x200 | 280x400x250 | 480×650×250 |
測量精度 (μm)E UX /E UY,MPE | (1.5+3L/1000) | (1.5+3L/1000) | (1.5+3L/1000) |
測量精度 (μm)E UXY,MPE | (2.0+4L/1000) | (2.0+4L/1000) | (2.0+4L/1000) |
測量精度 (μm)E UZ,MPE | (1.5+4L/1000) | (1.5+4L/1000) | (1.5+4L/1000) |
位移傳感器（E 1 Z軸）（um） | (1.5+4L/1000) | (1.5+4L/1000) | (1.5+4L/1000) |
觀察裝置 | 程控動力刀塔1x、2x、6x、（數字變倍12x）系列 | 程控動力刀塔1x、2x、6x、（數字變倍12x）系列 | 程控動力刀塔1x、2x、6x、（數字變倍12x）系列 |
照明 垂直落射照明 | 白色LED | 白色LED | 白色LED |
照明 透射照明 | 白色LED | 白色LED | 白色LED |
照明環照明 | 白色LED | 白色LED | 白色LED |
溫度修正功能 | 手動溫度補償 | 手動溫度補償 | 手動溫度補償 |
測量對象最大裝載質量（kg） | 20 | 40 | 50 |
機身質量（含安裝支架）（kg） | 365 | 650 | 第1475章 |
安裝玻璃尺寸（毫米） | 399×271 | 493×551 | 697×758 |
機身外部尺寸（寬x深x高）（毫米） | 930 x 866 x 1047（不含突出物/不含專用安裝支架） | 1426 x 1118 x 1381（不含突出物/不含專用安裝支架） | 1994 x 1400 x 1572（不含突出物/不含專用安裝支架） |
體重（公斤） | 270 | 550 | 1340 |
其他的 | 刻度分辨率：0.1μm | 刻度分辨率：0.1μm | 刻度分辨率：0.1μm |
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