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當(dāng)前位置：上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>制膜設(shè)備>>磁控濺射鍍膜>> VGB-600-3HD薄膜電池制備系統(tǒng)
主要特點(diǎn)：
1、配置三個(gè)靶槍，一個(gè)配套射頻電源通過(guò)轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)可以分別連接至任一靶頭，用于各類靶材的濺射鍍膜（靶槍可以根據(jù)客戶需要任何調(diào)換）。
2、可制備多種薄膜，應(yīng)用廣泛。
3、體積小，操作簡(jiǎn)便。
4、整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)，真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計(jì)，可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整。
5、可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源，可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍，也可多個(gè)電源單一控制靶槍（選配）。
6、可在手套箱內(nèi)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)操作，更換各類易氧化的靶材用于鍍膜實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | VGB-600-3HD薄膜電池制備系統(tǒng) | |
| 產(chǎn)品型號(hào) | VGB-600-3HD | |
| 主要參數(shù) | 三靶磁控濺射部分 1、電源電壓：220V 50Hz 2、總功率：2.5KW 3、極限真空度：< E-6mbar（配合本公司機(jī)械泵設(shè)備使用可達(dá)到 E-3mbar） 4、工作溫度：RT-500℃，精度±1℃（可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度） 5、靶槍數(shù)量：3個(gè) 6、靶槍冷卻方式：水冷 7、靶材尺寸：?2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同） 8、濺射電源功率：300W（射頻）/500W（直流） 9、載樣臺(tái)：?140mm 10、載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速：1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào) 11、保護(hù)氣體：Ar、N2等惰性氣體 12、進(jìn)氣氣路：質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣，1個(gè)流量為100 SCCM，1個(gè)流量為200 SCCM 手套箱部分 1、電源：?jiǎn)蜗郃C110V-220V 50Hz/60Hz 2、殼體材料：304不銹鋼 3、手套箱腔體：1220mm×760mm×900mm 4、前級(jí)室：設(shè)有2個(gè)前級(jí)室，大前級(jí)室?360mm×600mm，小前級(jí)室?150mm×300mm 5、腔體環(huán)境：水含量<1ppm（20℃，1atm），氧含量<1ppm（20℃，1atm） 6、工作氣體：N2、Ar、He等惰性氣體 7、控制氣體：壓縮空氣或惰性氣體 8、還原氣體：工作氣體和H2的混合氣（如果凈化系統(tǒng)只有除水功能，還原氣體與工作氣體相同） 9、氣體凈化系統(tǒng)： 德國(guó)BASF除氧材料、美國(guó)UOP高效吸水材料，凈化系統(tǒng)再生過(guò)程自動(dòng)控制，自動(dòng)除水、 除氧功能， 可長(zhǎng)期、持續(xù)維持氣體純度在水<1ppm、氧<1ppm 10、壓力控制系統(tǒng)：腔體氣壓可通過(guò)PLC觸摸屏自動(dòng)控制，控制精度為±1Pa，也可通過(guò)腳踏開(kāi)關(guān)進(jìn)行手動(dòng)控制11、過(guò)濾系統(tǒng)：進(jìn)、出氣端都裝有過(guò)濾器，過(guò)濾精度為0.3μm 12、控制系統(tǒng)：SIEMENS彩色觸摸屏（6寸），PLC控制系統(tǒng)，中英文雙語(yǔ)可切換； 水探頭采用美國(guó)GE品牌，0-1000ppm觸摸屏顯示，精度0.1ppm； 氧變送器采用美國(guó)AII品牌，0-1000ppm觸摸屏顯示，精度0.1ppm； 壓力傳感儀采用美國(guó)setra品牌，-2500-2500Pa觸摸屏顯示，精度±1Pa； 13、真空泵：采用英國(guó)EDWARDS品牌，抽速8.4m3/h-12m3/h 14、手套：美國(guó)NORTH品牌丁基合成橡膠 15、照明系統(tǒng)：飛利浦品牌熒光燈管 | |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 三靶磁控濺射部分：950mm×460mm×810mm | |
