12
當(dāng)前位置：上海添時科學(xué)儀器有限公司>>合肥科晶總代理>>CVD>> GSL-1700X-HVC1700℃二通道混氣真空CVD氣相沉積
1700℃二通道混氣真空CVD系統(tǒng)介紹：
型號：GSL-1700X-HVC
殼體：
•內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
•保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失
•真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動架上，方便移動.
•儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭，閥門，高真空機(jī)組
爐管:
•材質(zhì)：高純氧化鋁陶瓷管
•一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上
•(標(biāo)配尺寸)(60mm)0.D.xI.D.(50mm)x1000mm
(選配尺寸)”(80mm)0.D.xI.D.(70mm)x1000mm
功率:
6KW
工作電壓:
AC208-240V單相,50/60Hz
加熱元件:
8根1800°cgradeMoSi2heatingelement
工作溫度:
•最高工作溫度.：1650°C(<2h)
•連續(xù)工作溫度.：1600°C
升溫速率:
≤5°C/min
加熱區(qū)長度:
加熱區(qū)長度：457mm(18”)
溫控系統(tǒng):
•采用PID方式自動控制，并可設(shè)置30段升降溫程序
•控溫精度：±1°C
•控溫儀表操作視頻
•熱電偶：B~型，已經(jīng)安裝在爐內(nèi)
真空法蘭:
•一對不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝
•法蘭上帶有一機(jī)械壓為表
•兩個精密針閥
•一個KF-25連接器和KF-25轉(zhuǎn)KF-40抽氣接口
•一個1/4~卡套接買
1700℃二通道混氣真空CVD系統(tǒng)外形尺寸:
550x380x520mm
高真空機(jī)組：
功率：100~110W
工作電壓：AC208-240V單相,50/60Hz
外形尺寸：600(L)x600(W)x700(H),mm
殼體:
殼體尺寸：600(L)x600(W)x700(H),mm
最大承載量：600Lbsontop
分子泵控制面板:LCD數(shù)字顯示
控制面板：
•一鍵操作：按下"start”鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動(隔膜泵先啟動等真空度達(dá)到10-2mbar后，分子泵自動啟動)
系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率：根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率
抽氣速率：
N2：33L/s
He：39L/s(2340L/minute)
H2：32L/s
工作范圍:1000mbarto<1E-7mbar
質(zhì)子流量控制器
殼體
•采用316不銹鋼制作
•混氣箱尺寸：Φ80X120mm
•外形尺寸：600(L)x600(W)x700(H),mm
MPC控制面板(Click”to"enlarge),可根據(jù)客戶要求定制
功率：18W
工作電壓：AC208-240V,單相,50/60Hz
質(zhì)保期：
一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件
