當前位置:上海添時科學儀器有限公司>>管式爐>>PECVD系統>> OTF-1500X-Ⅱ-4CV-PE-SL三溫區1500℃PECVD系統
產品特點:
•帶有石英觀察窗口的不銹鋼真空密封法蘭,便于觀察等離子發光(圖1);
•射頻電源可實現等離子增強,從而顯著降低實驗溫度;
•四通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精確的調控;
•此款設備可安裝控制模塊,將溫度設置和溫度曲線導入到電腦(圖2、3);
•此款設備可選配控溫精度為±0.1℃的歐陸儀表(圖4)。
基本參數:
•最高工作溫度1500℃(<30min);連續使用溫度1400℃;
•三個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統,控溫精度:±1℃,帶有超溫和斷偶保護;
•·輸入電源: 208-240V,AC,單相;最大功率:6.6 KW;
•內爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設備加熱效率及反射率,同時延長儀器的使用壽命。
•注意:此設備不標配爐管。購買前請與我們銷售確定爐管相關事宜。
射頻電源:
真空系統:
•·采用TRP-12的雙旋真空泵;
• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;
•真空度可達10-2Torr。
供氣系統(可選):
•客戶可選購四通道質子流量計控制系統實現氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);
•流量范圍:
•電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;
•氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出;
• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
產品尺寸和重量:
•爐體尺寸: 550mm L'380mm W'520mm H
•爐體下端移動柜:1800mm L'600mm W'600mm H
•凈重:100 kg
•運輸重量:550 kg
承諾:
一年保質期,終身維護,不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件